[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜及其制造方法、有机EL显示装置、液晶显示装置及化合物

说明书

本发明提供一种感光性树脂组合物、硬化膜及其制造方法、有机EL显示装置、液晶显示装置及化合物。所述感光性树脂组合物的感光度、保存稳定性、及耐热透明性优异。所述感光性树脂组合物包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(B)由式(I)所表示的化合物；以及(C)溶剂。

技术领域

本发明涉及一种感光性树脂组合物(以下，有时仅称为“本发明的组合物”)。另外，本发明涉及一种使用上述感光性树脂组合物的硬化膜的制造方法、使感光性组合物硬化而成的硬化膜、使用上述硬化膜的各种图像显示装置。

更详细而言，本发明涉及一种适合于形成液晶显示装置、有机电致发光(Electroluminescence，EL)显示装置、集成电路元件、固体摄影元件等的电子零件的平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的感光性树脂组合物、及使用其的硬化膜的制造方法。

背景技术

在有机EL显示装置或液晶显示装置等中设置有形成有图案的层间绝缘膜。就用以获得所需的图案形状的步骤数少、且可获得充分的平坦性等而言，在该层间绝缘膜的形成中广泛使用感光性树脂组合物。作为感光性树脂组合物，已知有例如专利文献1中所记载的感光性树脂组合物。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2012-42836号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明人对专利文献1进行研究的结果，可知专利文献1中所具体揭示的酸产生剂的感光度低、或保存稳定性欠佳、或热处理后的透明性(耐热透明性)欠佳。本发明人对该点进行研究的结果，可知专利文献1中所具体揭示的酸产生剂为具有杂环结构与吸电子基的肟磺酸酯，该结构对上述效果造成影响。即，可知专利文献1中所记载的肟磺酸酯虽然可通过提高吸电子基的吸电子性来进一步提升感光度，但提升了感光度的肟磺酸酯的保存稳定性下降。相反地，若为提升了保存稳定性的肟磺酸酯，则感光度欠佳。另外，也可知因专利文献1中所记载的肟磺酸酯而导致透明性欠佳。

本发明是以解决上述课题为目的的发明，其目的在于提供一种维持高感光度、且保存稳定性及耐热透明性也优异的感光性树脂组合物。

进而，本发明的目的在于提供一种使用此种感光性树脂组合物的硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置。

解决问题的技术手段

本发明人进行努力研究的结果，发现通过使用特定的结构作为杂环结构，并将吸电子基设为C(＝O)R¹，而可解决上述课题。

具体而言，通过以下的解决手段＜1＞，优选为通过解决手段＜2＞～解决手段＜15＞来解决上述课题。

＜1＞一种感光性树脂组合物，其包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，

(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，

(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；

(B)由下述通式(I)所表示的化合物；以及

(C)溶剂；

[化1]