[发明专利]功率半导体夹紧堆叠在审
申请号: | 201380040760.9 | 申请日: | 2015-08-03 |
公开(公告)号: | CN104508817A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | R.施弗里;M.吉洛门;R.斯塔德勒 | 申请(专利权)人: | ABB技术有限公司 |
主分类号: | H01L25/11 | 分类号: | H01L25/11;H02M7/00;H01L23/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 徐予红;姜甜 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 功率 半导体 夹紧 堆叠 | ||
1.一种具有沿着堆叠方向(X)按顺序布置的多个功率半导体部件(1)的功率半导体夹紧堆叠,
具有第一和第二面板(2,3),其中在所述第一和第二面板(2,3)之间布置所述功率半导体部件(1)的序列并且能对所述第一和第二面板(2,3)施加以拉力(F),以便所述功率半导体部件(1)的序列在第一和第二面板(2,3)之间支撑,其特征在于,
为了调节所述拉力(F),在所述第一面板(2)和所述功率半导体部件(1)的序列之间布置拉力测量装置(4)。
2.如权利要求1所述的功率半导体夹紧堆叠,其特征在于,所述拉力测量装置(4)具有弹性元件(4.1),第一元件(4.2)和相对弹性元件(4.1)的弹力(FF)并且相对第一元件(4.2)沿着堆叠方向(X)可移动的第二元件(4.3),其中第二元件(4.3)相对第一元件(4.2)的移动的长度是拉力(F)的数额的测量。
3.如权利要求2所述的功率半导体夹紧堆叠,其特征在于,所述第一元件(4.2)贴在功率半导体部件(1)的序列上并且所述第二元件(4.3)贴在所述第一面板(2)上。
4.如权利要求3所述的功率半导体夹紧堆叠,其特征在于,所述第二元件(4.3)的贴在所述第一面板(2)上的面以半球形式形成。
5.如权利要求2到4中任一项所述的功率半导体夹紧堆叠,其特征在于,所述第一元件(4.2)具有楔形的通道(4.2.1),所述通道基本上垂直于堆叠方向(X)延伸,
所述第二元件(4.3)具有沟槽(4.3.1),所述沟槽基本上垂直于堆叠方向(X)延伸,以及
测杆(5)导入到楔形的通道(4.2.1)中并且同时到沟槽(4.3.1)中,其中所述测杆(5)在所述楔形的通道(4.2.1)中的插入深度与所述第二元件(4.3)相对所述第一元件(4.2)的移动相关。
6.如权利要求1到5中任一项所述的功率半导体夹紧堆叠,其特征在于,设置至少两个沿着堆叠方向(X)布置的连杆(6),所述连杆在所述第一和第二面板(2,3)上握住并且借助于所述连杆在第一和第二面板(2,3)上施加所述拉力(F)。
7.如权利要求1到6中任一项所述的功率半导体夹紧堆叠,其特征在于,所述拉力测量装置(4)具有绝缘材料。
8.如权利要求1到6中任一项所述的功率半导体夹紧堆叠,其特征在于,所述拉力测量装置(4)具有导电材料。
9.如权利要求1到8中任一项所述的功率半导体夹紧堆叠,其特征在于,所述第一和第二面板(2,3)具有绝缘材料。
10.如权利要求1到8中任一项所述的功率半导体夹紧堆叠,其特征在于,所述第一和第二面板(2,3)具有导电材料。
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