[发明专利]表面增强拉曼散射元件

权利要求书

1.一种表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

包括：

基板，其具有主面；

细微结构部，其形成于所述主面上，且具有多个凸部；及

导电体层，其形成于所述细微结构部上，且构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部，

在相邻的所述凸部之间，所述基板的主面是平坦的，

所述导电体层具有以沿着所述主面的方式形成的基底部、及在与所述凸部的各个对应的位置自所述基底部突出的多个突出部，

在所述基底部，在自所述凸部突出的方向观察的情况下以包围所述凸部的各个的方式形成有多个槽，

所述槽自所述基底部的表面朝向所述基板延伸，

所述突出部的一部分位于所对应的所述槽内，

在所述凸部突出的方向上所述槽的深度为所述基底部的厚度以下。

2.如权利要求1所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

所述凸部沿着所述主面被周期性地排列。

3.如权利要求1所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

所述槽在自所述凸部突出的方向观察的情况下以包围所述凸部的各个的方式环状地延伸。

4.如权利要求2所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

所述槽在自所述凸部突出的方向观察的情况下以包围所述凸部的各个的方式环状地延伸。

5.如权利要求1所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

所述突出部具有在所述基板侧的端部变细的形状。

6.如权利要求2所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

所述突出部具有在所述基板侧的端部变细的形状。

7.如权利要求3所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

所述突出部具有在所述基板侧的端部变细的形状。

8.如权利要求4所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

所述突出部具有在所述基板侧的端部变细的形状。

9.如权利要求1所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

位于所对应的所述槽内的所述突出部的一部分成为导电体颗粒凝聚的状态。

10.如权利要求2所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

位于所对应的所述槽内的所述突出部的一部分成为导电体颗粒凝聚的状态。

11.如权利要求3所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

位于所对应的所述槽内的所述突出部的一部分成为导电体颗粒凝聚的状态。

12.如权利要求4所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

位于所对应的所述槽内的所述突出部的一部分成为导电体颗粒凝聚的状态。

13.如权利要求5所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

位于所对应的所述槽内的所述突出部的一部分成为导电体颗粒凝聚的状态。

14.如权利要求6所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

位于所对应的所述槽内的所述突出部的一部分成为导电体颗粒凝聚的状态。

15.如权利要求7所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

位于所对应的所述槽内的所述突出部的一部分成为导电体颗粒凝聚的状态。

16.如权利要求8所述的表面增强拉曼散射元件，其特征在于，

位于所对应的所述槽内的所述突出部的一部分成为导电体颗粒凝聚的状态。