[发明专利]复合传感器及复合传感器模块

权利要求书

1.一种复合传感器，其特征在于，

具备：

第1基板，其排列有由多个热电元件构成的热图像传感器；以及

第2基板，其排列有距离图像传感器，所述距离图像传感器具有根据入射光而产生电荷的电荷产生区域、以及基于预先所赋予的电荷传送信号而将在所述电荷产生区域产生的电荷传送至规定的电荷收集区域的传送电极，

所述第2基板以所述热图像传感器的排列区域与所述距离图像传感器的排列区域从层叠方向看重叠的方式层叠在所述第1基板，

通过所述第1基板与所述第2基板的层叠，从而形成以所述第1基板为顶板而密封所述热图像传感器的周围的空间的密封体。

2.如权利要求1所述的复合传感器，其特征在于，

所述第2基板中的所述距离图像传感器的排列间距比所述第1基板中的所述热图像传感器的排列间距小。

3.如权利要求1或2所述的复合传感器，其特征在于，

在所述密封体的内壁面，形成有通过中红外区域的光的光学滤波膜。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的复合传感器，其特征在于，

所述密封体的内部为真空状态。

5.一种复合传感器模块，其特征在于，

具备：权利要求1～4中的任一项所述的复合传感器；以及以所述第2基板中的所述距离图像传感器的排列区域成为成像面的方式配置的透镜。