[发明专利]用于阻挡式等离子体的电极组件

权利要求书

1.用于形成电介质阻挡式等离子体的电极组件，所述等离子体在所述电极组件的一作用面(10)和一作为对电极起作用的表面之间形成，所述电极组件具有：一柔性的平面电极(8)，所述柔性的平面电极能够与一高电压源(28)连接；一平面的、柔性的并且形成所述作用面(10)的电介质(9)，所述电介质与所述平面电极(8)连接成一电极元件(7)并且所述电介质朝向待处理的表面地完全遮盖所述电极(8)，其特征在于，设置有一表面弹性的按压器具(4)，所述按压器具用于如此地在所述电极元件(7)的远离所述表面的背侧上按压，使得所述电极元件(7)能够在局部变形的情况下自行适配所述表面的不规则性。

2.按照权利要求1所述的电极组件，其特征在于，所述按压器具(4)利用一介电材料遮盖所述电极元件(7)的所述背侧。

3.按照权利要求1或2所述的电极组件，其特征在于，所述表面弹性的按压器具(4)是一弹性材料，所述弹性材料固定在一用作支撑轴承的壳体件(1)中。

4.按照权利要求1或2所述的电极组件，其特征在于，所述表面弹性的按压器具(4)由多个弹簧元件形成，所述弹簧元件在一侧上支撑在一用作支撑轴承的壳体件(1)上并且利用贴靠面在所述电极元件(7)的所述背侧上形成一按压阵列。

5.按照权利要求2至4中任一项所述的电极组件，其特征在于，所述壳体件(1)具有一平面伸展部，所述壳体件以该平面伸展部突出于所述电极元件(7)的平面伸展部。

6.按照权利要求5所述的电极组件，其特征在于，所述壳体件(1)的平面伸展部在所有侧面上突出于所述电极元件(7)的平面伸展部。

7.按照权利要求2至6中任一项所述的电极组件，其特征在于，所述壳体件(1)具有一用于一高电压连接件(15)的电贯通引导部。

8.按照权利要求1至7中任一项所述的电极组件，其特征在于，所述电介质(9)的所述作用面(10)具有一结构(11)，所述结构形成中间空间(13)，当所述作用面(10)通过所述结构(11)贴靠在所述表面上时，在这些中间空间中能够形成所述等离子体。

9.按照权利要求8所述的电极组件，其特征在于，所述结构(11)具有凸结，这些凸结的端面(14)构造用于贴靠在所述表面上。