[发明专利]可光致固化的组合物

权利要求书

1.一种可光致固化的组合物，所述可光致固化的组合物包含：

a)光致抗蚀剂组分，和

b)由下式表示的全氟聚醚化合物：

(R^PFPE-X¹-CO-NH)_x-R¹-(NH-CO-X²-R^Unsatd)_y，

其中

R^PFPE表示全氟聚醚基团，

X¹和X²独立地为-O-、-S-或-NR²-，其中R²为H或C₁-C₄烷基，

R¹为多异氰酸酯的残基，

R^Unsatd为包含烯键式不饱和聚合型基团的部分，

下标x和y各自独立地为1至3，以及

c)光引发剂。

2.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中R^Unsatd包括乙烯基、烯丙基或(甲基)丙烯酰基基团。

3.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，所述可光致固化的组合物包含相对于100重量份的光致抗蚀剂组分0.1至5重量份的全氟聚醚化合物。

4.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述光致抗蚀剂组分为正性光致抗蚀剂。

5.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述光致抗蚀剂组分为负性光致抗蚀剂。

6.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述光致抗蚀剂组分为阻焊剂。

7.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中所述全氟聚醚基团R^PFPE由下式表示：

R_f¹-O-R_f²-(R_f³)_q-，其中R_f¹表示全氟化的烷基基团，R_f²表示C₁-C₄全氟化的聚亚烷氧基基团或它们的混合，R_f³表示全氟化的亚烷基基团，并且q为0至1。

8.根据权利要求7所述的含氟化合物氨基甲酸酯，其中R_f¹为包含一种或多种全氟化的重复单元的一价全氟烷基基团，所述一种或多种全氟化的重复单元选自F-C_nF_2n-、F-(CF(Z)-、F-(CF(Z)C_nF_2n-、F-C_nF_2nCF(Z)-、F-CF₂CF(Z)-、以及它们的组合，其中n为1至4，并且Z为全氟烷基基团或全氟烷氧基基团。

9.根据权利要求7所述的含氟化合物氨基甲酸酯，其中所述全氟氧亚烷基基团选自下列中的一种或多种：-(CF₂-CF₂-O)_r-、-(CF(CF₃)-CF₂-O)_s-、-(CF₂CF₂-O)_r-(CF₂O)_t-、-(CF₂CF₂CF₂CF₂-O)_u和-(CF₂-CF₂-O)_r-(CF(CF₃)-CF₂-O)_s-，其中r、s、t和u中的每一个各自为1至50的整数。

10.根据权利要求1所述的可光致固化的组合物，其中R^PFPE基团与R^Unsatd基团的当量比率为1:1至1:10。