[发明专利]被覆工具

权利要求书

1.一种被覆工具，其含有基材和形成于基材表面上的被覆层，该被覆层含有第1层叠结构和第2层叠结构，

所述第1层叠结构是将组成不同的2层以上的层在各层的平均厚度为60nm以上且500nm以下的厚度下周期性地层叠而成的结构，

所述第2层叠结构是将组成不同的2层以上的层在各层的平均厚度为2nm以上且小于60nm以下的厚度下周期性地层叠而成的结构，

构成所述第1层叠结构的层及构成第2层叠结构的层含有选自由金属元素的至少1种构成的金属以及由这些金属元素的至少1种与非金属元素的至少1种构成的化合物中的至少1种，所述金属元素选自Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、Sr、Y、Sn及Bi，所述非金属元素选自碳、氮、氧及硼。

2.根据权利要求1所述的被覆工具，其中，所述第1层叠结构是将组成不同的2层交替地层叠了各2层以上而成的交替层叠结构。

3.根据权利要求1或2所述的被覆工具，其中，所述第2层叠结构是将组成不同的2层交替地层叠了各2层以上而成的交替层叠结构。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的被覆工具，其中，所述被覆层含有将所述第1层叠结构和第2层叠结构交替地连续层叠2个以上而成的结构。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的被覆工具，其中，所述第1层叠结构的层叠周期的平均值T₁与所述第2层叠结构的层叠周期的平均值T₂之差T₁-T₂为20nm～996nm。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的被覆工具，其中，构成所述第1层叠结构的各层及构成所述第2层叠结构的各层含有选自由金属元素的至少2种构成的金属以及由这些金属元素的至少2种与非金属元素的至少1种构成的化合物中的至少1种，所述金属元素选自Ti、Nb、Ta、Cr、W、Al、Si、Sr及Y，所述非金属元素选自碳、氮、氧及硼。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的被覆工具，其中，构成所述第1层叠结构的层中含有的金属元素含有1种以上的下述金属元素：在构成该第1层叠结构的各层之间是相同的，并且构成所述第1层叠结构的一个层中所含的相对于金属元素整体的元素量与构成与该层相邻的所述第1层叠结构的层中所含的相对于金属元素整体的元素量之差的绝对值为5原子％以上。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的被覆工具，其中，构成所述第2层叠结构的层中含有的金属元素含有1种以上的下述金属元素：在构成该第2层叠结构的各层之间是相同的，并且构成所述第2层叠结构的一个层中所含的相对于金属元素整体的元素量与构成与该层相邻的所述第2层叠结构的层中所含的相对于金属元素整体的元素量之差的绝对值为5原子％以上。

9.根据权利要求1～6中任一项所述的被覆工具，其中，构成所述第1层叠结构的一个层中所含的金属元素与构成与该层相邻的所述第1层叠结构的层中所含的金属元素有1种以上不同。

10.根据权利要求1～6及9中任一项所述的被覆工具，其中，构成所述第2层叠结构的一个层中所含的金属元素与构成与该层相邻的所述第2层叠结构的层中所含的金属元素有1种以上不同。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的被覆工具，其中，所述被覆层整体的总层厚以平均层厚计为0.22～12μm。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的被覆工具，其中，所述第1层叠结构的平均厚度为0.2～6μm。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的被覆工具，其中，所述第2层叠结构的平均厚度为0.02～6μm。