[发明专利]真空蒸镀装置以及有机EL装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及真空蒸镀装置。尤其，本发明涉及能够在一个成膜室内使多个成膜层成膜的真空蒸镀装置。本发明的真空蒸镀装置适合作为用于制造有机EL(Electro Luminesence：电致发光)装置的装置。另外，本发明涉及有机EL装置的制造方法。

背景技术

近几年，作为替代白炽灯、荧光灯的照明装置，有机EL装置受到注目，并进行了很多研究。有机EL装置是通过在玻璃基板、透明树脂薄膜等基材层叠了有机EL元件而成的。

并且，有机EL元件是使一方或者双方具有透光性的2个电极对置、且在该电极之间层叠了由有机化合物构成的发光层而成的。

有机EL装置是自发光器件，通过适当地选择发光层的材料，能够发出各种波长的光。另外，与白炽灯、荧光灯相比厚度极薄，且面状地发光，从而设置位置的制约较少。

代表的有机EL装置的层结构如图21所示。图21所示的有机EL装置200构成为，在玻璃基板202上，层叠透明电极层203、功能层205、背面电极层206，并由密封部207对它们进行密封。有机EL装置200是从玻璃基板202侧取出光的、被称作所谓底部放射型的结构。

另外，功能层205是层叠有多个有机化合物或者导电性氧化物的成膜而成的。代表的功能层205的层结构如图21的放大图所示地从透明电极层203侧依次具有空穴注入层208、空穴输送层210、发光层211、电子输送层212、以及电子注入层215。

这样，有机EL装置是通过在玻璃基板202上依次使所述的层成膜而制造的。

此处，在所述的各层中，功能层205是如所述那样层叠有多个有机化合物的薄膜而成的，各薄膜均通过真空蒸镀法成膜。

即，由于如所述那样，功能层205是层叠有多个有机化合物的薄膜而成的，所以为了形成功能层205，需要多次进行真空蒸镀。

另外，背面电极层206一般由铝、银等的金属薄膜形成，与功能层205相同，通过真空蒸镀法成膜。

因此，当制造一个有机EL装置时，需要多次进行真空蒸镀。

此处，以往的真空蒸镀装置仅能够蒸镀一个种类的薄膜。例如，有机EL装置的功能层205由空穴注入层208、空穴输送层210、发光层211、电子输送层212以及电子注入层215构成，但在以往的方法中，所述层由分别不同的真空蒸镀装置成膜。

因此，以往的有机EL装置的各层的成膜需要频繁进行相对于真空蒸镀装置拿出、放入基板的作业。因此，以往的方法的作业效率较低，而期望改善。

作为解决该问题的对策，专利文献1、2中提出了能够在一个成膜室使多个薄膜层成膜的真空蒸镀装置。

专利文献1、2所公开的真空蒸镀装置中，在成膜室内设置有3个分散容器。

另外，各分散装置分别与多个蒸发部连接，从各蒸发部向分散容器供给成膜材料的蒸气。而且，从各分散容器向成膜室内释放成膜材料的蒸气(以下，也称作成膜蒸气)而在基板上成膜。

专利文献1、2所公开的真空蒸镀装置中，通过选择使成膜蒸气释放的分散容器，能够在一个成膜室内使多个薄膜层成膜。

另外，专利文献1、2所公开的真空蒸镀装置中，通过切换使用的蒸发部，能够变更向分散容器供给的成膜材料。即，专利文献1、2所公开的真空蒸镀装置中，能够在一个成膜室内使多个薄膜层成膜。

专利文献1中，作为成膜材料的分组方法，公开了将蒸发温度、极限温度相近的作为一个组的对策。即，专利文献1所公开的真空蒸镀装置中，对各分散装置与多个蒸发部连接、但使用哪个蒸发部来使哪个成膜材料蒸发这一点，进行了有趣的研究。

换言之，专利文献1中，公开了蒸发器和成膜材料的优选的组合。

专利文献1所公开的对策中，将成膜材料以其蒸发温度、极限温度分类，将蒸发温度相近的成膜材料向与相同的分散装置连接的多个蒸发部中每一个投入，并使之蒸发。

专利文献1：日本特开2008-75095号公报

专利文献2：日本特开2009-256705号公报

专利文献1所公开的对策中，理论上是合理的，可以说是蒸发器和成膜材料的组合方法之一。

然而，不能说该组合是最好的，还有更加优选的组合。

发明内容

因此，本发明涉及具备多个蒸发器的真空蒸镀装置，其目的在于提出蒸发器和成膜材料的优选的组合。

另外，本发明的目的在于，提出如下有机EL装置的制造方法，即，当在一个成膜室使有机EL装置的多个层成膜的情况下，能够使成膜的薄膜的厚度的分布均匀。