[发明专利]金属氧化物被膜用涂布液以及金属氧化物被膜

说明书

技术领域

本发明涉及具有感光性的金属氧化物被膜用涂布液以及金属氧化物被膜。

背景技术

近年，伴随着智能手机的普及，移动电话的显示画面正在大型化。随着上述情况，能够利用显示器的显示而进行输入操作的触摸屏的开发正大量进行。如果采用触摸屏，由于不需要按下式的开关等输入方法，可实现显示画面的大型化。

触摸屏检出手指或笔等接触到操作面的接触位置。利用该功能，可将触摸屏作为输入装置使用。作为接触位置的检出方式，例如，有电阻膜方式或静电电容方式等，但静电电容方式由于将基板设为1块而实现了薄型化，因此是适于便携设备的方式，近年正积极地进行开发。

专利文献1公开了静电电容方式的触摸屏。在该触摸屏中，用于检出X方向的坐标的第1透明电极、和用于检出Y方向的坐标的第2透明电极介由作为电介质的玻璃而配置。具体而言，在1块玻璃基板的一个面上间隔配置多个用于检出X方向坐标的电极，在另一个面上间隔配置多个用于检出Y方向坐标的电极。即、制成在1块基板上设置各透明电极的结构。

此外，专利文献2中，公开了另一结构的静电电容方式的触摸屏。在该触摸屏中，在透明基板的一个面上，配置用于检出X方向坐标的第1透明电极和用于检出Y方向坐标的第2透明电极，它们各自的交差部上介有绝缘层而使其不导通。如果采用该结构，则不需要在基板的两面上进行电极形成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2003-173238号公报

专利文献2：日本专利特开2010-28115号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在以往的触摸屏中，已知在ITO等透明电极上设置由丙烯酸材料构成的丙烯酸层的技术。该丙烯酸层的目的是保护透明电极，但由于是有机材料薄膜，因此作为保护膜的硬度不足。与ITO等透明电极的密合性也弱，成为使触摸屏的可靠性下降的一个原因。

本发明是鉴于这样的问题而完成的发明。即、本发明的目的在于提供有足够保护ITO等透明电极的硬度、成膜性良好、且能够通过光刻工序来形成图案的无机氧化物被膜。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明人经认真研究，结果发现通过使用含有由金属醇盐、金属盐和锡化合物以一定组成比缩合而成的聚合体的金属氧化物被膜形成用涂布液，可解决上述的技术问题，从而完成本发明。

即，本发明具有以下要点。

1.一种金属氧化物被膜用涂布液，在下式(III)所示的金属盐的存在下，将含有下式(I)所示的金属醇盐、和下式(IIA)或(IIB)所示的有机锡化合物的混合物在有机溶剂中水解、缩聚，再添加析出防止剂而得。

M¹(OR¹)_n (I)

式(I)中，M¹表示选自硅(Si)、镁(Mg)、锌(Zn)、钛(Ti)、钽(Ta)、锆(Zr)、硼(B)、铟(In)、铋(Bi)以及铌(Nb)的至少1种以上金属。R¹表示碳数1～5的烷基，n表示2～5的整数。

Sn(OOCR²)₂ (IIA)

式(IIA)中，R²表示可被氟原子取代、且可具有杂原子的碳数1～20的烷基。

Sn(R³COCHCOR⁴)₂ (IIB)

式(IIB)中，R³以及R⁴表示可被氟原子取代、且可具有杂原子的碳数1～20的烷基。

M²(X)_k (III)

式(III)中，M²表示选自铝(Al)、铟(In)、锌(Zn)、锆(Zr)、铋(Bi)、镧(La)、钽(Ta)、钇(Y)以及铈(Ce)的至少1种以上金属，X表示氯、硝酸、硫酸、乙酸、草酸、氨基磺酸、磺酸、乙酰乙酸、乙酰丙酮化物或它们的碱式盐，k表示M²的价数。

2.如上述1所述的金属氧化物被膜用涂布液，其中，上述有机锡化合物的含量相对于上述金属醇盐的摩尔数和上述有机锡化合物的摩尔数的总计100摩尔％，为30摩尔％以上。

3.如上述1或2所述的金属氧化物被膜用涂布液，其中，上述析出防止剂为选自N-甲基-吡咯烷酮、乙二醇、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、二乙二醇、丙二醇、己二醇和它们的衍生物的至少1种以上物质。