[发明专利]像差校正光学单元及激光显微镜

权利要求书

1.一种像差校正光学单元，所述像差校正光学单元是校正光学系统所产生的波像差的像差校正光学单元，其特征在于，包括：

第一相位调制元件，其具有光学轴，对于通过所述光学系统的光束之中的与所述光学轴平行的偏振成分，校正所述光学系统的波像差的规定成分；

第二相位调制元件，其具有光学轴，对于所述光束之中的与所述光学轴平行的偏振成分，校正所述波像差的所述规定成分；

可变波长板，其被配置于所述第一相位调制元件和所述第二相位调制元件之间，具有光学轴，并能够变更所述光束的偏振特性，

所述可变波长板被配置为，所述可变波长板的光学轴与所述第一相位调制元件的光学轴或所述第二相位调制元件的光学轴形成规定角度，

所述可变波长板根据施加的电压，使赋予到所述光束的相位调制量改变。

2.如权利要求1所述的像差校正光学单元，其特征在于，

所述第一相位调制元件及所述第二相位调制元件被配置为，所述第一相位调制元件的光学轴与所述第二相位调制元件的光学轴成为平行或者互相正交，

所述规定角度为45°。

3.如权利要求1所述的像差校正光学单元，其特征在于，

所述第一相位调制元件及所述第二相位调制元件被配置为，所述第一相位调制元件的光学轴与所述第二相位调制元件的光学轴成为平行，

所述可变波长板根据施加的电压的变化来进行以下两种作用的切换，即，作为1/2波长板来发挥作用，或以将与所述光束的波长的整数倍相当的相位差赋予到互相正交的两束直线偏振光的方式来发挥作用。

4.如权利要求1所述的像差校正光学单元，其特征在于，

所述第一相位调制元件及所述第二相位调制元件被配置为，所述第一相位调制元件的光学轴与所述第二相位调制元件的光学轴互相正交，

所述可变波长板根据施加的电压的变化来进行以下两种作用的切换，即，作为1/2波长板来发挥作用，或以将与所述光束的波长的整数倍相当的相位差赋予到互相正交的两束直线偏振光的方式来发挥作用。

5.如权利要求1所述的像差校正光学单元，其特征在于，

所述光学系统具有物镜，且所述像差校正光学单元被配置于相干光源与所述物镜之间。

6.如权利要求1所述的像差校正光学单元，其特征在于，

所述第一相位调制元件、所述第二相位调制元件、所述可变波长板分别为液晶元件。

7.一种激光显微镜，其特征在于，包括：

第一光学系统，其利用来自于相干光源的光束来扫描试样；

物镜，其将所述光束聚光于所述试样；

检测器；

第二光学系统，其通过所述光束入射进所述试样，将从所述试样发出的第二光束传输到所述检测器，其中，所述第二光束包含所述试样的信息；

如权利要求1-6中的任一项所述的像差校正光学单元，其被配置于所述相干光源与所述物镜之间。

8.如权利要求7所述的激光显微镜，其特征在于，还包括：

控制电路，其根据观察模式，通过调节施加到所述可变波长板的电压，对所述可变波长板赋予到所述光束的相位调制量进行控制。