[发明专利]压电材料和使用该压电材料的压电元件以及使用该压电元件的电子装置有效
申请号: | 201380044036.3 | 申请日: | 2013-08-21 |
公开(公告)号: | CN104584249B | 公开(公告)日: | 2017-10-27 |
发明(设计)人: | 村上俊介;渡边隆之;上田未纪;熊田伸弘 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社;国立大学法人山梨大学 |
主分类号: | H01L41/43 | 分类号: | H01L41/43;C04B35/495;C04B35/64;H01L41/083;H01L41/187;H01L41/273 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人: | 李英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 材料 使用 元件 以及 电子 装置 | ||
1.压电材料,包括0.04摩尔%-2.00摩尔%的Cu,相对于1摩尔的由下述通式(1)表示的钙钛矿型金属氧化物:
(KvBiwBa1-v-w)1-yNax(NbyTi1-y)O3 (1)
其中满足0<v≤0.39、0<w≤0.39、0.9≤w/v≤1.1、0.80≤x≤0.95和0.85≤y≤0.95的关系,
其中该压电材料在通式(1)中满足0.95≤x/y≤0.99的关系。
2.根据权利要求1的压电材料,其中该压电材料在通式(1)中满足0<v≤0.05和0<w≤0.05的关系。
3.压电元件,包括:
第一电极;
压电材料;和
第二电极,
其中该压电材料包括根据权利要求1的压电材料。
4.多层压电元件,包括交替层叠的、压电材料层和包括内部电极的电极层,
其中该压电材料层包括根据权利要求1的压电材料。
5.根据权利要求4的多层压电元件,其中该内部电极包括Ag和Pd,并且Ag的重量含量M1与Pd的重量含量M2的重量比M1/M2满足1.5≤M1/M2≤9.0的关系。
6.根据权利要求4的多层压电元件,其中该内部电极含有Ni和Cu的至少一种。
7.根据权利要求4的多层压电元件的制造方法,包括:
通过将含有K、Bi、Ba、Na、Nb、Ti和Cu中的至少一种的金属化合物分散而得到浆料的步骤(A);
由该浆料得到压实体的步骤(B);
在该压实体上形成电极的步骤(C);和
通过将其中使该含有金属化合物的压实体与该电极交替层叠的压实体烧结而得到多层压电元件的步骤(D),
在1,150℃以下的烧结温度下进行该步骤(D)。
8.排液头,包括:
液室,该液室包括振动部,该振动部包括根据权利要求3的压电元件或根据权利要求4的多层压电元件;和
与该液室连通的排出口。
9.排液器件,包括:
用于记录介质的传送部;和
根据权利要求8的排液头。
10.超声波马达,包括:
振动体,该振动体包括根据权利要求3的压电元件或根据权利要求4的多层压电元件;和
与该振动体接触的移动体。
11.光学器件,包括驱动部,该驱动部包括根据权利要求10的超声波马达。
12.振动器件,包括振动体,该振动体包括膜片,该膜片包括根据权利要求3的压电元件或根据权利要求4的多层压电元件。
13.除尘器件,包括振动部,该振动部包括根据权利要求12的振动器件。
14.成像器件,包括:
根据权利要求13的除尘器件;和
摄像元件单元,
其中将该除尘器件的膜片设置在该摄像元件单元的受光面侧。
15.电子装置,包括压电声部件,该压电声部件包括根据权利要求3的压电元件或根据权利要求4的多层压电元件。
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