[发明专利]转子及具备该转子的真空泵

权利要求书

1.一种转子，是将腔室的气体排气的真空泵的转子，其特征在于，

上述转子具备：

第1及第2筒体；和

连结部，将上述两个筒体的端部彼此连结；

上述第1筒体在其外周面上具备多个旋转叶片，并且通过将这些多个旋转叶片沿着真空泵轴心与多个固定叶片交替地配置，构成叶片排气部；

上述第2筒体通过至少在其内周侧形成螺纹槽排气流路，构成螺纹槽排气部；

在上述第1筒体的内周面或上述连结部的内周面上附加进行上述转子的取平衡的质量，上述内周面不存在随着从附加了上述质量的部分向下部行进而上述内周面的半径变小的部分。

2.如权利要求1所述的转子，其特征在于，

设在上述第1筒体的上述内周面上的上述取平衡部为在距上述连结部较近处较深且在距上述连结部较远处较浅的锥形状。

3.如权利要求1所述的转子，其特征在于，

设在上述第1筒体的上述内周面上的上述取平衡部在其中途具有台阶部，并且为以该台阶部为边界距上述连结部较近的范围较深且距上述连结部较远的范围较浅的带有台阶的形状。

4.如权利要求1～3中任一项所述的转子，其特征在于，

通过上述连结部的底面与位于上述底面侧的固定部经由规定间隙对置，作为非接触型密封发挥功能，所述非接触型密封防止上述气体向上述第1筒体的内周面或上述连结部的内周面侧倒流。

5.如权利要求4所述的转子，其特征在于，

上述规定间隙为0.5mm到3.0mm。

6.如权利要求5所述的转子，其特征在于，

上述规定间隙为1.0mm到1.5mm。

7.如权利要求1～3、5、6中任一项所述的转子，其特征在于，

上述第2筒体由FRP形成。

8.如权利要求4所述的转子，其特征在于，

上述第2筒体由FRP形成。

9.一种转子，是将腔室的气体排气的真空泵的转子，其特征在于，

上述转子具备：

第1及第2筒体；和

连结部，将上述两个筒体的端部彼此连结；

上述第1筒体在其外周面上具备多个旋转叶片，并且通过将这些多个旋转叶片沿着真空泵轴心与多个固定叶片交替地配置，构成叶片排气部；

上述第2筒体通过至少在其内周侧形成螺纹槽排气流路，构成螺纹槽排气部；

上述连结部由环状的板体和环状的凸部构成，所述板体一体地设在上述第1筒体的下端，所述凸部一体地设在该环状的板体的外周部，通过在该环状的凸部上嵌入安装上述第2筒体，将第1筒体与第2筒体连结；

将上述凸部的内周面作为上述转子的取平衡部，在该取平衡部上设有耐腐蚀性的质量附加机构。

10.如权利要求9所述的转子，其特征在于，

上述第2筒体由FRP形成。

11.一种真空泵，其特征在于，

具备权利要求1～10中任一项所述的转子。