[发明专利]分析用除电部件

说明书

技术领域

本发明涉及分析用除电部件。详细而言，涉及在使用原子间力显微镜(AFM：Atomic Force Microscope)等的分析用途中，能够有效地进行分析对象试样周边的除电的分析用除电部件。

背景技术

原子间力显微镜(AFM)为具有原子水平的分解能的显微镜，能够容易进行试样表面的微细形状等的观察(例如，参照专利文献1)。此外，原子间力显微镜不仅能够观察导电性材料，还能够观察高分子化合物之类的绝缘性材料。从这样的观点出发，原子间力显微镜作为各种试样的表面观察工具非常有效。

就原子间力显微镜而言，使前端很尖的探针在试样表面上扫描，将探针感触到的原子间力变换为电信号，由此观察表面形状。探针安装在悬臂的前端，通过微小的力使该探针和试样的表面接触。

使用原子间力显微镜的分析等的精密分析中，为了得到正确的分析结果，需要严格控制分析环境。

作为这样的分析环境的控制之一，可以举出分析对象试样周边的带电抑制。分析对象试样周边带电时，例如，无法在利用电信号的分析中得到正确的分析结果。目前，作为抑制分析对象试样周边的带电的方法，可以采用在分析对象试样周边贴附导电性带或导电性膏的方法、通过静电风机对分析对象试样周边进行除电的方法、在难以引起带电的高湿度环境下进行测定的方法等(例如，参照专利文献2、3)。

但是，在分析对象试样周边贴附导电性带或导电性膏的方法中，这些中包括的有机成分等的污染物质会附着在分析对象试样上，难以得到正确的分析结果。此外，在分析对象试样周边贴附导电性带或导电性膏的方法中，在高温环境下、真空环境下，这些中包括的有机溶剂挥发，会产生周边环境污染的问题。

此外，通过静电风机对分析对象试样周边进行除电的方法中，尘埃或灰尘飞舞会附着在分析对象试样上，难以得到正确的结果。此外，通过静电风机对分析对象试样周边进行除电的方法中，在分析对象试样周边存在金属时，会产生火花。并且为了在高温环境下、真空环境下进行测定，需要利用腔室覆盖保持分析环境，这种情况下采用静电风机物理上很困难。

此外，在难以引起带电的高湿度环境下进行测定的方法中，水的成分附着在分析对象试样上，难以得到正确的分析结果。此外，在高温环境下、真空环境下，即使实现高湿度环境，水的成分也会蒸发，难以维持高湿度环境。

为了抑制分析对象试样周边的带电而使用除电部件的情况下，优选在分析对象试样周边充分贴合。除电部件不在分析对象试样周边充分贴合的情况下，由于该贴合位置的形状、倾斜等，该除电部件有可能出现偏移。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-252849号公报

专利文献2：日本特开2000-129235号公报

专利文献3：日本特开2002-257702号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的课题在于：提供一种分析用除电部件，在使用原子间力显微镜的分析等的精密分析中，能够充分贴合在分析对象试样周边，不会污染分析对象试样和周边环境，能够抑制分析对象试样周边的带电，即使在分析对象试样周边存在金属，也不会产生火花，能够用腔室覆盖进行分析，在高温环境下、真空环境下的分析也能够没有问题地进行。

用于解决课题的方法

本发明的分析用除电部件，包括具备多个纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。

优选的实施方式中，本发明的分析用除电部件，室温时的相对于玻璃面的剪切粘合力为1N/cm²以上。

优选的实施方式中，上述纤维状柱状结构体为具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体。

优选的实施方式中，本发明的分析用除电部件为片状。

优选的实施方式中，本发明的分析用除电部件为探针状。

发明效果

根据本发明，提供一种分析用除电部件，在使用原子间力显微镜的分析等的精密分析中，能够充分贴合在分析对象试样周边，不会污染分析对象试样和周边环境，能够抑制分析对象试样周边的带电，即使在分析对象试样周边存在金属，也不会产生火花，能够用腔室覆盖进行分析，在高温环境下、真空环境下的分析也能够没有问题地进行。

附图说明

图1为本发明的分析用除电部件中包括的纤维状柱状结构体的优选实施方式的一例的概略截面图。

图2为本发明的分析用除电部件为片状的情况下的、本发明的优选实施方式中分析用除电部件的一例的概略截面图。