[发明专利]电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法

权利要求书

1.一种电子枪异常检测装置，其检测至少具备第1电子枪与第2电子枪的电磁钢板的磁畴细化装置的电子枪的异常，其特征在于，具备：

磁光元件，其与检查区域接触或脱离，而检测所述检查区域中的钢板的磁畴构造作为光学特性，所述检查区域以包括所述第1电子枪向所述电磁钢板表面照射电子束而产生的磁畴不连续部与所述第2电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部之间的边界的方式被设定；

光源，其向所述磁光元件照射直线偏振光；

检测器，其检测由于转印于所述磁光元件的所述钢板的磁畴构造而旋转的偏振光。

2.根据权利要求1所述的电子枪异常检测装置，其特征在于，

所述磁光元件从面向所述钢板的方向按顺序由保护膜、反射膜、磁光学膜、以及基板构成，

所述直线偏振光从所述基板侧射入，并被所述反射膜反射。

3.根据权利要求2所述的电子枪异常检测装置，其特征在于，

所述磁光学膜在组成中包括磁性石榴石。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的电子枪异常检测装置，其特征在于，

还具备偏光镜、半透半反镜、以及检光镜，

从所述光源射出的光线按照所述偏光镜、所述半透半反镜、所述磁光元件、所述半透半反镜、所述检光镜、以及所述检测器的顺序进行传播。

5.根据权利要求4所述的电子枪异常检测装置，其特征在于，

通过还具备驱动收容所述光源、所述偏光镜、所述半透半反镜、所述磁光元件、所述检光镜、以及所述检测器的检查单元的驱动机构，而使所述钢板的检查区域与所述磁光元件接触或脱离。

6.根据权利要求1～3、5中的任一项所述的电子枪异常检测装置，其特征在于，

所述钢板的宽度方向的所述检查区域的配置数目，比所述磁畴细化装置所具备的电子枪的台数少一个。

7.根据权利要求4所述的电子枪异常检测装置，其特征在于，

所述钢板的宽度方向的所述检查区域的配置数目，比所述磁畴细化装置所具备的电子枪的台数少一个。

8.一种电子枪异常检测方法，其检测至少具备第1电子枪与第2电子枪的电磁钢板的磁畴细化装置的电子枪的异常，其特征在于，包括：

接触步骤，在该步骤中，使磁光元件与钢板接触，所述磁光元件是在以包括所述第1电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部与所述第2电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部之间的边界的方式设定的检查区域中检测钢板的磁畴构造作为光学特性的磁光元件；

照射步骤，在该步骤中，向所述磁光元件照射直线偏振光；

检测步骤，在该步骤中，检测由所述磁光元件反射的直线偏振光的偏振光面的旋转；

测定步骤，在该步骤中，根据所述偏振光面的旋转测定所述钢板的磁畴构造；以及

脱离步骤，在该步骤中，使所述磁光元件从所述钢板脱离。

9.根据权利要求8所述的电子枪异常检测方法，其特征在于，

所述磁光元件从面向所述钢板的方向按顺序由保护膜、反射膜、磁光学膜、以及基板构成，

所述直线偏振光从所述基板侧射入，并被所述反射膜反射。

10.根据权利要求9所述的电子枪异常检测方法，其特征在于，

所述磁光学膜在组成中包括磁性石榴石。