[发明专利]散射光测量装置

权利要求书

1.一种散射光测量装置，具备：光学测量装置，其将光输出和被输入光，并且进行所输入的光的测量；以及散射光测量探头，其向被检查物照射来自该光学测量装置的光，并且接收来自该被检查物的光并向上述光学测量装置输出，该散射光测量装置的特征在于，

上述光学测量装置具有：

光源，其射出至少包含测量对象波长的光的光；

光检测器，其检测由上述散射光测量探头接收到的光；

分支部，其将来自上述光源的光引导至上述散射光测量探头，并且将来自上述散射光测量探头的光引导至上述光检测器；以及

控制部，其基于由上述光检测器检测出的光来评价上述被检查物的表层的散射特性，

上述散射光测量探头具有光纤，该光纤在一端与上述光学测量装置进行连接，传播来自上述光源的光并向上述被检查物进行照射，并且在另一端与上述被检查物接触，接收照射到该被检查物的光在上述被检查物的内部进行传播并返回来的光，将该光作为光信号而引导至上述光检测器，

上述光纤传播光，具有大致棒状的芯部，该芯部具有根据上述被检查物的检测深度来确定的直径。

2.根据权利要求1所述的散射光测量装置，其特征在于，

上述光学测量装置还具有检测由上述散射光测量探头接收到的光的第二光检测器，

上述散射光测量探头具有：

多个上述光纤；以及

校正光纤，其接收由上述光纤照射的光在上述被检查物的内部进行传播并返回来的光，并引导至上述第二光检测器，

上述控制部根据由上述光检测器和上述第二光检测器检测出的光的信号强度来评价上述被检查物的散射特性。

3.根据权利要求2所述的散射光测量装置，其特征在于，

设置有两个以上的上述光纤并且设置有两个以上的上述校正光纤，

上述光检测器按每个上述光纤检测上述信号强度，

上述第二光检测器按每个上述校正光纤检测上述信号强度，

上述控制部根据比所设定的阈值大的信号强度来评价上述被检查物的散射特性。

4.根据权利要求2所述的散射光测量装置，其特征在于，

设置有两个以上的上述光纤并且设置有两个以上的上述校正光纤，

上述光检测器按每个上述光纤检测上述信号强度，

上述第二光检测器按每个上述校正光纤检测上述信号强度，

上述控制部对各信号强度附加位置信息，

上述光学测量装置还具有基于上述信号强度来实施图像处理的图像处理部。