[发明专利]用于激光放电管的气体循环回路

权利要求书

1.一种用于激光放电管的气体循环回路，所述激光放电管具有平的矩形长方体形式，该气体循环回路包括气体供应管道和气体排放管道，其中所述气体供应管道和/或气体排放管道在所述激光放电管的纵向方向上是长形的，并且所述气体供应管道通过入口流分配器连接至所述激光放电管和/或所述气体供应管道通过出口流分配器连接至所述激光放电管，所述入口流分配器适用于在所述激光放电管的至少一部分上的受控的横向气体入口，所述出口流分配器适用于在所述激光放电管的至少一部分上的受控的横向气体出口，且其中所述入口流分配器和/或出口流分配器包括多个相应的入口通道或出口通道，

所述气体循环回路的特征在于，

所述气体供应管道和气体排放管道位于该激光放电管的相对两侧，

所述气体循环回路在电极两侧上提供对激光放电管的两侧的自由接近，

所述入口通道和/或所述出口通道是小管，所述入口通道和/或所述出口通道的长度在所述气体供应管道的直径的0.25倍与2.5倍之间，

两个连续的入口通道之间的空间等于或大于一个入口通道的直径，和/或，两个连续的出口通道之间的空间等于或大于一个出口通道的直径，

多个入口通道和/或多个出口通道在放电管的长度上逐次分开，

所述气体供应管道的直径与所述入口通道的直径之间的比率、和/或所述气体排放管道的直径与所述出口通道的直径之间的比率至少是2。

2.根据权利要求1所述的气体循环回路，其特征在于，所述气体供应管道与所述激光放电管的纵向方向平行地定位。

3.根据权利要求1所述的气体循环回路，其特征在于，所述气体排放管道与所述激光放电管的纵向方向平行地定位。

4.根据权利要求1所述的气体循环回路，其特征在于，所述入口流分配器和/或气体出口流分配器包括多孔或毛细材料。

5.根据权利要求1所述的气体循环回路，其特征在于，所述入口流分配器包括在所述激光放电管的纵向方向上延伸的栅格组件。

6.根据权利要求5所述的气体循环回路，其特征在于，所述栅格组件包括在横向方向上连续地定位的具有不同透通性的一定数量的栅格。

7.根据上述权利要求中任一项所述的气体循环回路，其特征在于，一吹风机在由所述激光放电管的纵向方向和所述气体供应管道的纵向方向限定的平面中将所述气体供应管道和所述气体排放管道连接起来。

8.一种激光设备，其包括根据上述权利要求中任一项所述的气体循环回路。