[发明专利]平台系统以及包括该平台系统的光刻设备有效
| 申请号： | 201380048294.9 | 申请日： | 2013-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN104641297B | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | R·A·C·M·比伦斯;R·J·T·鲁滕;J·S·C·韦斯特拉肯;K·J·J·M·扎尔;R·H·A·范莱肖特;E·A·F·范德帕施 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01D5/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平台 系统 以及 包括 光刻 设备 | ||
【权利要求书】：
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