[发明专利]测量极化设备上的表面电势的方法

权利要求书

1.一种测量极化样品(2)表面电势的方法，其包括如下步骤：

通过使用连接至微杆(4)的锥形尖端(3)扫描所述样品(2)的表面而对所述样品(2)的形貌轮廓(11)进行测量，所述微杆(4)在其谐振频率被压电激活器(5)激活；

将所述锥形尖端(3)放置在相对于之前步骤中获得的表面形貌轮廓(11)的恒定距离(d)；

测量所述表面的静电势(13)；

在所述方法中，所述样品(2)在测量所述形貌轮廓(11)的步骤中不被极化，但所述样品(2)在测量电势分布(13)时被极化。

2.根据前述权利要求所述的测量极化样品(2)表面电势的方法，其中，通过施加电压为0至±10V之间的外部电压源(17)对所述样品(2)进行极化。

3.一种用于实施根据权利要求1或2所述方法的设备(1)，其包括：

形貌测量装置和使用形貌测量结果的电势测量装置；

其中，所述设备还包括开关(S3)，该开关被设计为在关闭位置使得电压施加于所述样品(2)，但在打开位置取消施加所述电压；

所述设备还包括同步模块(18)，它被配置为对所述开关(S3)的打开和关闭进行同步，从而使得电压在所述形貌测量中不被施加于所述样品(2)，而在所述电势测量中被施加于所述样品(2)。

4.根据前述权利要求所述的设备(1)，其中，所述设备(1)包括锥形尖端(3)，其能够扫描通过外电压源(17)极化的所述样品(2)的表面，所述锥形尖端(3)被连接至微杆(4)以及第一产生器(10)，所述微杆(4)在其共振频率由压电激活器(5)激活；所述设备(1)还包括能够控制所述锥形尖端(3)定位的压电扫描仪(16)以及用于检测所述微杆(4)振幅变化的装置，这些检测装置被连接至放大信号的装置(8)，该信号放大装置(8)转而连接至具有作为参考的来自第一发生器的信号的壳体(9)，所述壳体被(9)连接至能够将获得的数据与参考数据进行比较的器件(15)，所述比较器件(15)能够将数据传输至连接到所述压电扫描仪(16)的反馈回路(14)，所述反馈回路(14)通过所述扫描仪(16)控制所述尖端(3)的定位，所述比较器件(15)还连接至能够将电压提供至所述微杆(4)的第二产生器(19)，所述同步模块(18)一方面连接至所述反馈回路(14)，另一方面通过所述开关(S3)连接至所述外电压源(17)。

5.根据前述权利要求所述的设备(1)，其中，所述设备(1)还包括放大器(20)，其连接至第二产生器(19)并能够放大由第二产生器(19)向微杆(4)提供的电压。