[发明专利]供在微机电及其它系统中使用的开关及其制造工艺

权利要求书

1.一种开关，其包括：

导电第一壳体；

第一电导体，其悬置于所述第一壳体内且与所述第一壳体电隔离；

导电第二壳体；

第二电导体，其悬置于所述第二壳体内且与所述第二壳体电隔离；

第三电导体，其经配置以在其中所述第三电导体与所述第一及第二电导体电隔离的第一位置与其中所述第三电导体与所述第一及第二电导体电接触的第二位置之间移动；及

第一致动器，其包括导电基底及具有受所述基底约束的第一端的导电臂，其中所述第三电导体由所述臂支撑，且所述臂操作以偏转且借此使所述第三电导体在所述第一与第二位置之间移动。

2.根据权利要求1所述的开关，其进一步包括电绝缘衬底及安置于所述衬底上的接地平面，其中所述第一及第二壳体与所述接地平面电接触，且所述致动器的所述基底安置于所述衬底上。

3.根据权利要求2所述的开关，其进一步包括导电集线器，其中所述第一电导体电连接到所述集线器；所述第三电导体经配置以在所述第三电导体处于所述第一位置中时与所述集线器及所述第二电导体间隔开，且所述第三电导体进一步经配置以在所述第三电导体处于所述第二位置中时接触所述集线器及所述第二电导体。

4.根据权利要求3所述的开关，其进一步包括：

导电第三壳体；

第四电导体，其悬置于所述第三壳体内且与所述第三壳体电隔离；

第五电导体，其经配置以在其中所述第五电导体与所述集线器及所述第四电导体间隔开的第一位置与其中所述第五电导体接触所述集线器及所述第四电导体的第二位置之间移动；及

第二致动器，其包括导电基底及具有受所述第二致动器的所述基底约束的第一端的导电臂，其中所述第五电导体由所述第二致动器的所述臂支撑，且所述第二致动器的所述臂操作以偏转且借此使所述第五电导体在所述第五电导体的所述第一与第二位置之间移动。

5.根据权利要求3所述的开关，其进一步包括：

导电第四壳体；

第六电导体，其悬置于所述第四壳体内且与所述第四壳体电隔离；

第七电导体，其经配置以在其中所述第七电导体与所述集线器及所述第六电导体间隔开的第一位置与其中所述第七电导体接触所述集线器及所述第六电导体的第二位置之间移动；

第三致动器，其包括导电基底及具有受所述第三致动器的所述基底约束的第一端的导电臂，其中所述第七电导体由所述第三致动器的所述臂支撑，且所述第三致动器的所述臂操作以偏转且借此使所述第七电导体在所述第七电导体的所述第一与第二位置之间移动。

6.根据权利要求5所述的开关，其进一步包括：

导电第五壳体；

第八电导体，其悬置于所述第五壳体内且与所述第五壳体电隔离；

第九电导体，其经配置以在其中所述第九电导体与所述集线器及所述第八电导体间隔开的第一位置与其中所述第九电导体接触所述集线器及所述第八电导体的第二位置之间移动；及

第四致动器，其包括导电基底及具有受所述第四致动器的所述基底约束的第一端的导电臂，其中所述第九电导体由所述第四致动器的所述臂支撑，且所述第四致动器的所述臂操作以偏转且借此使所述第九电导体在所述第九电导体的所述第一与第二位置之间移动。

7.根据权利要求2所述的开关，其中：

所述臂包括位于邻近所述基底处的导电第一部分及位于邻近所述第一部分处的导电第二部分，所述第二部分面向所述接地平面且在所述接地平面上方间隔开；且

所述第二部分在经受电压电位时操作以产生静电力，所述静电力将所述第二部分朝向所述接地平面吸引借此致使所述第三电导体从所述第一位置移动到所述第二位置。

8.根据权利要求7所述的开关，其中所述臂经配置以响应于所述臂的所述第二部分朝向所述接地平面的所述吸引而弯曲。

9.根据权利要求7所述的开关，其中所述臂进一步包括位于邻近所述第二部分处的电绝缘第三部分及位于邻近所述臂的所述第三部分及第三电触点处的导电第四部分。

10.根据权利要求2所述的开关，其中所述接地平面、所述第一及第二壳体、所述第一、第二及第三电导体以及所述致动器包括若干层导电材料。