[发明专利]压电促动器及其制造方法、磁盘装置有效
申请号: | 201380048813.1 | 申请日: | 2013-09-20 |
公开(公告)号: | CN104662608B | 公开(公告)日: | 2017-05-03 |
发明(设计)人: | 砂原博文;松本贵宏;高田雅亲 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | G11B21/21 | 分类号: | G11B21/21;G11B21/10;H01L41/09;H01L41/187 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 李逸雪 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 促动 及其 制造 方法 磁盘 装置 | ||
技术领域
本发明涉及压电促动器及其制造方法、以及搭载了压电促动器的磁盘装置。
背景技术
在现有技术中,在磁盘装置中,为了使磁性头部高精度地移动至盘上的期望位置,搭载了使磁性头部大致移动至期望位置的附近的第1促动器、和使磁性头部从通过第1促动器移动的位置开始向期望位置微量移动的第2促动器。
例如,图19是表示现有技术的磁盘装置结构的俯视图。如图19所示,磁性头部(未图示)设置在与悬架200的一端侧连接的平衡环210,作为第1促动器的音圈电机250设置在悬架支撑部件230中。在悬架200与悬架支撑部件230之间,设有作为第2促动器的压电促动器100。
压电促动器100具备由锆钛酸铅(PZT)等压电陶瓷构成的长方体形状的压电体、和分别在压电体的互相对置的两个面设置的外部电极,若对外部电极施加电压,则压电体伸缩。
在现有技术的磁盘装置中,设有由覆盖压电促动器100的表面的树脂构成的涂层101,通过涂层101,防止从压电促动器100的压电体脱落压电陶瓷的微细粒子。由此,在驱动压电促动器100时,因压电促动器100的压电体的伸缩等而使压电陶瓷的微细粒子从压电体脱落,脱落的粒子附着于磁性头部、磁性记录圆板310,从而防止向磁性记录圆板310的信息写入或来自磁性记录圆板310的信息读出的可靠性的降低。(例如,参照专利文献1)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:JP特开2002-163870号公报
发明内容
发明要解决的课题
涂层101是在悬架200与悬架支撑部件230之间安装压电促动器100之后设置的。因此,用于涂层101的树脂有可能附着在磁盘装置内的不期望的部位(例如,磁性头部附近)上。此外,磁盘装置的制造工序变得复杂,良品率的降低、制造成本的上升等成为原因。
此外,专利文献1公开了,用于涂层101的树脂优选使用未固化状态的粘度为1000mPa·s以下的低粘度树脂,低粘度环氧树脂系粘接剂最佳,低粘度环氧树脂系粘接剂由含有量小于20%的环氧低聚物和含有量为80%以上的环氧单体构成,至少包含在热或者光下进行反应的聚合开始剂、催化剂、添加剂。
但是,在树脂的未固化状态的粘度为100~1000mPa·s程度的情况下,树脂无法进入到在压电体的表面存在多个的微细的凹部的底部,涂层101容易被剥离。若涂层101被剥离,则压电体的表面被曝光,有时会从被曝光的部分脱落压电陶瓷的粒子。
此外,树脂的未固化状态的粘度越高い,覆盖压电体表面的涂层101就越厚。若涂层101厚,则涂层101会阻碍压电促动器100的位移,导致压电促动器100的位移特性劣化,有时使磁性头部移动的精度会下降。
本发明鉴于上述情况而完成,提供一种能够可靠地防止来自压电体的压电陶瓷粒子的脱落的压电促动器及其制造方法、以及搭载压电促动器的磁盘装置。
用于解决课题的手段
本发明为了解决上述课题,提供如下构成的压电促动器。
本发明的压电促动器具备(a)长方体形状的压电体,由压电陶瓷构成,具有互相对置的2个主面和连接所述2个主面的4个侧面;(b)外部电极,设置于所述主面;(c)凹部,形成于所述4个侧面;和(d)涂层,设置于所述4个侧面,且由树脂构成。所述涂层覆盖所述4个侧面中的所述凹部。
在上述构成中,压电体的主面以及侧面的6个面被外部电极和涂层覆盖着。涂层覆盖着压电体的凹部,因此不易剥离。由于能够可靠地保持压电体的6个面被外部电极和涂层覆盖的状态,因此能够可靠地防止来自压电体的压电陶瓷的粒子的脱落。
在本发明的压电促动器中,优选还具备:增强部件,在至少一个所述外部电极的和与所述压电体相连的面相反的一侧的面沿着该面的周边而设置,且由树脂构成。
此时,由于外部电极的端部被增强部件和涂层覆盖,因此压电促动器的角部的强度得到提高。
在优选的一个方式中,与所述涂层一体地形成所述增强部件。
在本发明的压电促动器中,优选所述涂层是未固化状态的粘度大于1mPa·s且小于100mPa·s的树脂固化而成的。
若未固化状态的树脂的粘度大于1mPa·s,则能够将涂层设置成与压电体的凹部的底部接触。若未固化状态的树脂的粘度小于100mPa·s,则不会使压电体的4个面中的涂层的厚度太厚。
在本发明的压电促动器中,优选所述涂层在所述4个侧面上的厚度为1μm以下。
此时,通过涂层几乎不会阻碍压电促动器的位移,因此能够提高压电促动器的位移特性。
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