[发明专利]微波加热装置

权利要求书

1.一种微波加热装置，具备：

波导管；

微波供给单元，其以电力线的方向与下述方向一致的方式供给微波，所述方向是与形成有图案的平面状基板的、所述图案的形成面实质上平行的方向，所述平面状基板配置于所述波导管内，所述图案包含导体、金属氧化物或半导体；和

控制单元，其对所述微波供给单元进行脉冲宽度控制，使其向所述图案的形成面供给脉冲状的微波。

2.根据权利要求1所述的微波加热装置，其特征在于，与所述微波的行进方向平行地、并且在与微波的行进方向正交的方向上相邻地排列多个所述波导管，将相互相邻的波导管内的微波的相位维持为相互错开90度的状态，所述基板供给单元使所述基板在所述多个波导管中连续地通过。

3.根据权利要求2所述的微波加热装置，所述相邻的多个波导管内的微波的供给方向相互不同。

4.根据权利要求1所述的微波加热装置，所述图案以10nm～100μm的厚度形成于所述基板上。

5.根据权利要求4所述的微波加热装置，所述图案的厚度为10nm～10μm。

6.根据权利要求1～5的任一项所述的微波加热装置，具备以基板在波导管内通过的方式使其移动的功能，能够进行在辊对辊下的微波加热。

7.一种导电图案形成方法，具有下述工序：使用权利要求1～6的任一项所述的微波加热装置，对形成于平面状基板表面的包含导体、金属氧化物或半导体的墨图案进行加热。

8.根据权利要求7所述的导电图案形成方法，所述墨图案是作为导电材料包含碳和金属的墨图案。

9.根据权利要求7所述的导电图案形成方法，所述墨图案是作为导电材料包含金属氧化物的墨图案。