[发明专利]曝光方法、平板显示器的制造方法和器件制造方法

权利要求书

1.一种曝光方法，其包含如下步骤：

使具有规定图案的图案保持体的上表面与支承部件的下表面相对，其中，该支承部件能够以非接触方式从重力方向上侧悬垂支承该图案保持体；

使所述图案保持体以非接触方式悬垂支承在所述支承部件上；

使能够保持所述图案保持体的保持部件保持悬垂支承在所述支承部件上的所述图案保持体；

使用所述保持部件，使所述图案保持体至少在规定的2维平面内的扫描方向上相对于能量束移动，并且，相对于所述能量束，在所述扫描方向上驱动曝光对象物体，将所述图案转印到所述曝光对象物体上；

在维持所述支承部件对所述图案保持体的悬垂支承的状态下，解除所述保持部件对所述图案保持体的保持；以及

使解除了所述保持部件的保持的所述图案保持体的上表面与所述支承部件的下表面分离。

2.根据权利要求1所述的曝光方法，其中，

在所述转印中，使所述能量束通过形成于所述支承部件的开口部。

3.根据权利要求1或2所述的曝光方法，其中，

在所述相对和所述分离中，使所述图案保持体相对于所述支承部件，在与所述2维平面相交的方向上移动。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的曝光方法，其中，

在所述相对和所述分离中，使用共同的输送装置。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的曝光方法，其中，

在所述保持中，在所述图案保持体的下表面侧，使所述保持部件从所述扫描方向的一侧朝另一侧滑动，由此将该保持部件配置在所述图案保持体的下方，

在所述保持的解除中，在所述图案保持体的下表面侧，使所述保持部件从所述扫描方向的另一侧朝一侧滑动，由此，使该保持部件从所述图案保持体的下方退避。

6.根据权利要求5所述的曝光方法，其中，

在所述相对和所述分离中，使用沿着所述扫描方向具有多个可动部件的图案保持体输送装置，其中，上述可动部件被设置为能够在支承所述图案保持体的下表面的第1位置与从该图案保持体的下表面分离的第2位置之间移动，

在所述保持和所述保持的解除中，根据所述保持部件的沿着所述扫描方向的位置，使多个所述可动部件从所述第1位置退避到所述第2位置。

7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的曝光方法，其中，

在所述相对和所述保持的解除中，使所述图案保持体与所述支承部件的下表面的第1区域相对，

在所述转印中，使所述图案保持体沿着所述支承部件的下表面的与所述第1区域不同的第2区域移动。

8.根据权利要求1～7中的任意一项所述的曝光方法，其中，

在所述转印中，在所述2维平面内，在与所述扫描方向垂直的方向和绕垂直于所述2维平面的轴的方向上，相对于所述能量束对所述图案保持体进行微细驱动。

9.根据权利要求1～8中的任意一项所述的曝光方法，其中，

在所述悬垂支承中，使所述支承部件吸引所述支承部件的所述下表面与所述图案保持体的所述上表面之间的气体。

10.根据权利要求1～8中的任意一项所述的曝光方法，其中，

在所述悬垂支承中，使气体高速地通过所述支承部件的所述下表面与所述图案保持体的上表面之间，由此，使在重力方向上朝上的力作用于所述图案保持体。

11.根据权利要求1～10中的任意一项所述的曝光方法，其中，

所述曝光对象物体是在平板显示器装置中使用的基板。

12.根据权利要求11所述的曝光方法，其中，

所述基板的至少一个边的长度或对角线长度为500mm以上。

13.一种平板显示器的制造方法，其包含如下步骤：

使用权利要求11或12所述的曝光方法，对所述曝光对象物体进行曝光；以及

对曝光后的所述曝光对象物体进行显影。

14.一种器件制造方法，其包含如下步骤：

使用权利要求1～10中的任意一项所述的曝光方法，对所述曝光对象物体进行曝光；以及

对曝光后的所述曝光对象物体进行显影。