[发明专利]数据生成系统以及数据生成方法

说明书

本发明提供一种数据生成系统以及数据生成方法，利用较少的操作工作量，生成用于与基板处理装置的规格相对应并使该基板处理装置工作的高品质的配置数据。该数据生成系统具有：存储部，以层级结构存储互不相同的多个规格以及互不相同的多个配置数据，并且存储表示规格与配置数据的层级之间的关联的关联信息；规格取得部，取得基板处理装置的规格；数据生成部，基于关联信息，从多个配置数据中选择与由规格取得部取得的规格相对应的配置数据，生成用于使具有由规格取得部取得的规格的基板处理装置工作的配置数据。

技术领域

本发明涉及一种数据生成系统以及数据生成方法，生成用于与基板处理装置的规格相对应地使基板处理装置工作的配置数据(configuration data)。此外，在基板处理装置中具有对基板实施刻蚀、显影、清洗以及干燥等处理的装置。另外，该基板包括：半导体晶圆、光掩模用玻璃基板、液晶显示用玻璃基板、等离子显示用玻璃基板、FED(FieldEmission Display，场发射显示)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板等各种基板。

背景技术

为了制造半导体装置、液晶显示装置等电子部件，而提供了各种基板处理装置。基板处理装置是按订单设计生产型的产品，即使是同一机型，各个产品的硬件、机构等也经常不同。因此，当生成用于控制基板处理装置的软件时，例如专利文献1所记载的那样，生成配置数据。即，使作为软件核心的计算机程序通用于各种基板处理装置，另一方面，通过配置，根据各装置的发送地、用户要求、产品规格等来切换计算机程序的各个功能。此处，“产品规格”是由构成产品的构成部件和各部件的功能来决定的。而且，在本说明书中，将包含有“产品规格”、“发送地”以及“用户要求”的事项仅称为“规格”。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特表2007-523407号公报

发明内容

发明想要解决的问题

但是，随着产品数量的增多，规格数量也变多，据此配置数据中所包含的设定项目的数量也变得巨大。因此，产生如下的问题。产生的第一个问题就是生成数据需要大量的工作量。另外，当生成数据时容易产生表述错误，也变得难以判断数据的合理性。因此，现状是就生成高品质的配置数据来讲，要求高度的专业性。

为了解决如这样的问题，已经考虑到对生成的配置数据进行知识管理(knowledgemanagement)。但是，完全没有与基板处理装置的软件开发相适合的知识管理技术。

本发明鉴于上述问题，其目的在于，提供一种数据生成技术，利用较少的操作工作量，与基板处理装置的规格相对应地生成使该基板处理装置工作的高品质的配置数据。

用于解决问题的手段

本发明的一个实施方式为一种数据生成系统，用于与基板处理装置的规格相对应地生成使基板处理装置工作的配置数据，具有：存储部，以层级结构存储互不相同的多个规格以及互不相同的多个配置数据，并且存储表示规格与配置数据的层级之间的关联的关联信息；规格取得部，取得基板处理装置的规格；数据生成部，基于关联信息，从多个配置数据中选择与由规格取得部取得的规格相对应的配置数据，生成用于使具有由规格取得部取得的规格的基板处理装置工作的配置数据。

另外，本发明的另一个实施方式为一种数据生成方法，用于与基板处理装置的规格相对应地生成使基板处理装置工作的配置数据，包括：生成知识数据库的工序，知识数据库包含层级化信息和关联信息，层级化信息用于预先使互不相同的多个规格以及互不相同的多个配置数据成为层级结构，关联信息表示规格与配置数据的层级之间的关联；选择配置数据的工序，基于关联信息，从知识数据库中选择与基板处理装置的规格相对应的配置数据；将选择出的配置数据作为用于使基板处理装置工作的配置数据的工序。