[发明专利]基板烧成装置

权利要求书

1.一种基板烧成装置，具备：加热室，其收纳基板，以烧成温度加热基板；以及开关盖，其设于该加热室的基板的取放口，上述基板烧成装置的特征在于，

设有从上述取放口附近的上方沿着上述加热室的上边部向下吹出热空气的热空气吹出部，在上述取放口附近的下方设有抽吸包含被吹出的热空气的氛围气的抽吸部。

2.根据权利要求1所述的基板烧成装置，其特征在于，

上述热空气吹出部具有从上述加热室内部向朝外的斜下方吹出热空气的喷嘴部，上述抽吸部在抽吸向斜下方吹出的热空气的部位具有抽吸孔。

3.根据权利要求2所述的基板烧成装置，其特征在于，

上述喷嘴部包括喷嘴孔，上述喷嘴孔是在沿着上述加热室的上边部延伸设置的热空气配管构件的下侧向朝外的斜下方通过打孔形成的。

4.根据权利要求2所述的基板烧成装置，其特征在于，

上述喷嘴部包括吹出喷嘴，上述吹出喷嘴具备在沿着上述加热室的上边部延伸设置的热空气配管构件的下侧装配的向朝外的斜下方的喷嘴孔。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板烧成装置，其特征在于，

上述抽吸部具有抽吸孔，上述抽吸孔是在沿着上述加热室的下边部延伸设置的排气管构件的上侧通过打孔形成的。

6.根据权利要求1至4中的任一项所述的基板烧成装置，其特征在于，

上述抽吸部具有抽吸孔，上述抽吸孔是在山形的整流部的朝向加热室内部的倾斜面中通过打孔形成的，上述整流部设于沿着上述加热室的下边部延伸设置的排气管构件的上侧。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的基板烧成装置，其特征在于，

经由供气管和分支部向上述热空气吹出部供给热空气，并且在上述分支部设有供气阀，通过对该供气阀进行开关控制而按照打开、关闭上述开关盖的定时吹出热空气。