[发明专利]磁阻抗组件及其制造方法

权利要求书

1.一种磁阻抗组件，具备：

基板；

被配设在该基板上的剖面形状为圆形的磁敏线；

周绕该磁敏线的检测线圈；及

固定该磁敏线及该检测线圈的绝缘部，

该磁阻抗组件的特征在于：

前述检测线圈具有：

由膜状导体所构成的第一配线部，其沿着前述基板的平坦面而形成，且与前述磁敏线呈交叉；

由膜状导体所构成的第二配线部，其关于该磁敏线，形成在该第一配线部的相反侧，且与该磁敏线呈交叉；及

由柱状导体或筒状导体所构成的连结部，其在该磁敏线的两侧被前述绝缘部所围绕，朝该基板的法线方向延伸而将该第一配线部及该第二配线部的预定位置相链接，

在所述磁敏线流通脉冲电流。

2.如权利要求1所述的磁阻抗组件，其特征在于，

前述第二配线部相对前述基板的平坦面形成为大致平行。

3.如权利要求1所述的磁阻抗组件，其特征在于，

前述连结部与前述磁敏线的间隙，在沿着该磁敏线的延伸方向的相邻间隙之间彼此不相同。

4.一种磁阻抗组件，具备：

基板；

被配设在该基板上的剖面形状为圆形的磁敏线；

周绕该磁敏线的检测线圈；及

固定该磁敏线及该检测线圈的绝缘部，

该磁阻抗组件的特征在于，

前述检测线圈具有：

由膜状导体所构成的第一配线部，其沿着前述基板的平坦面而形成，且与前述磁敏线呈交叉；

由膜状导体所构成的第二配线部，其关于该磁敏线，形成在该第一配线部的相反侧，且与该磁敏线呈交叉；及

由柱状导体或筒状导体所构成的连结部，其在该磁敏线的两侧被前述绝缘部所围绕，朝该基板的法线方向延伸而将该第一配线部及该第二配线部的预定位置相链接，

前述绝缘部由以下部件所构成：形成在前述第一配线部上的第一绝缘部；形成在该第一绝缘部上且埋设前述磁敏线的中间绝缘部；及形成在该中间绝缘部上的第二绝缘部，

前述连结部由以下部件所构成：将该第一绝缘部朝前述基板的法线方向贯穿且与该第一配线部的预定位置相连的第一连结部；在该磁敏线的两侧，将该中间绝缘部朝该基板的法线方向贯穿且与该第一连结部相连的中间连结部；及将该第二绝缘部朝该基板的法线方向贯穿且与该中间连结部相连，并且与前述第二配线部的预定位置相连的第二连结部，

前述中间连结部比前述第一连结部或前述第二连结部为更粗，

在所述磁敏线流通脉冲电流。

5.如权利要求4所述的磁阻抗组件，其特征在于，

前述第二配线部相对前述基板的平坦面形成为大致平行。

6.一种磁阻抗组件的制造方法，具备：基板；被配设在该基板上的剖面形状为圆形的磁敏线；周绕该磁敏线的检测线圈；及固定该磁敏线及该检测线圈的绝缘部的磁阻抗组件，

磁阻抗组件的制造方法的特征在于，具备：

第一配线层形成工程，其在前述基板的平坦面上，形成可与前述磁敏线呈交叉的成为由膜状导体所构成的第一配线部的第一配线层；

中间层形成工程，其在该第一配线层上形成中间层，该中间层具有：前述绝缘部；及将位于该磁敏线的两侧的该绝缘部朝该基板的法线方向贯穿的由柱状导体或筒状导体所构成的连结部；及

第二配线层形成工程，其在该中间层上形成与该磁敏线呈交叉的成为由膜状导体所构成的第二配线部的第二配线层，

该第一配线部与该第二配线部的预定位置在该连结部相连结而构成前述检测线圈，

在所述磁敏线流通脉冲电流。

7.一种磁阻抗组件的制造方法，具备：基板；被配设在该基板上的剖面形状为圆形的磁敏线；周绕该磁敏线的检测线圈；及固定该磁敏线及该检测线圈的绝缘部的磁阻抗组件，

磁阻抗组件的制造方法的特征在于，具备：

第一配线层形成工程，其在前述基板的平坦面上，形成可与前述磁敏线呈交叉的成为由膜状导体所构成的第一配线部的第一配线层；

中间层形成工程，其在该第一配线层上形成中间层，该中间层具有：前述绝缘部；及将位于该磁敏线的两侧的该绝缘部朝该基板的法线方向贯穿的由柱状导体或筒状导体所构成的连结部；及

第二配线层形成工程，其在该中间层上形成与该磁敏线呈交叉的成为由膜状导体所构成的第二配线部的第二配线层，

该第一配线部与该第二配线部的预定位置在该连结部相连结而构成前述检测线圈，

前述中间层形成工程是由以下步骤所构成：

第一绝缘层形成工程，其在前述第一配线层上形成成为第一绝缘部的第一绝缘层；

连结部形成工程，其形成：将该第一绝缘层朝前述基板的法线方向贯穿且与前述第一配线部的预定位置相连的第一连结部；及与该第一连结部相连，在该磁敏线的两侧朝该基板的法线方向延伸的中间连结部；及与该中间连结部相连，朝该基板的法线方向延伸而可与前述第二配线部的预定位置相连的第二连结部；

中间绝缘层形成工程，其在该第一绝缘层上形成埋设前述磁敏线的成为中间绝缘部的中间绝缘层；及

第二绝缘层形成工程，其在该中间绝缘层上形成围绕该第二连结部的成为第二绝缘部的第二绝缘层，

利用该第一绝缘层、该中间绝缘层、及该第二绝缘层，构成前述绝缘部，

利用该第一连结部、该中间连结部、及该第二连结部，构成前述连结部，

在所述磁敏线流通脉冲电流。