[发明专利]用于制造石墨烯电磁波阻隔板的方法和微波炉

权利要求书

1.一种用于制造石墨烯电磁波阻隔板的方法，所述方法包括：

分别在催化剂金属层上和所述催化剂金属层下形成第一石墨烯层和第二石墨烯层；

将支撑衬底附着到所述第二石墨烯层；

对所述第一石墨烯层和所述催化剂金属层进行图案化；以及

移除所述支撑衬底，

其中，执行对所述第一石墨烯层和所述催化剂金属层的图案化以在所述第二石墨烯层上形成金属图案和石墨烯图案，并且

其中，所述金属图案位于所述石墨烯图案和所述第二石墨烯层之间。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述图案化包括：

在所述第一石墨烯层上形成抗蚀剂图案；

对通过所述抗蚀剂图案的孔而暴露的所述第一石墨烯层进行蚀刻；

对经由所述第一石墨烯层的所述蚀刻而暴露的所述催化剂金属层进行蚀刻；以及

移除所述抗蚀剂图案。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述图案化包括将所述第一石墨烯层和所述催化剂金属层图案化成相同形状。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括移除所述第一石墨烯层。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述图案化包括对经由所述第一石墨烯层的移除而暴露的所述催化剂金属层进行图案化。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述催化剂金属层的所述图案化包括：

在所述催化剂金属层上形成抗蚀剂图案；以及

使用所述抗蚀剂图案以蚀刻所述催化剂金属层。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，被图案化的层采取孔图案或网图案的形式。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，被图案化的层具有直径为5mm或小于5mm的孔。

9.一种具有加热空间的微波炉，所述微波炉包括：

前面板，所述前面板被构造成关闭所述加热空间的前侧，所述前面板具有观察口；

盖面板，所述盖面板被设置在所述前面板上以覆盖所述观察口；以及

电磁波阻隔板，所述电磁波阻隔板被设置在所述盖面板上，

其中，所述电磁波阻隔板包括：

石墨烯层；

在所述石墨烯层上的金属图案；和

在所述金属图案上的石墨烯图案，

其中，所述金属图案位于所述石墨烯图案和所述石墨烯层之间。

10.根据权利要求9所述的微波炉，还包括屏蔽窗，所述屏蔽窗被附接到所述电磁波阻隔板，所述屏蔽窗具有被构造成屏蔽电磁波的屏蔽孔。

11.根据权利要求9所述的微波炉，还包括固定构件，所述固定构件被设置在所述电磁波阻隔板上以将所述电磁波阻隔板固定到所述前面板。

12.根据权利要求9所述的微波炉，其中，所述金属图案为孔图案或网图案。

13.根据权利要求9所述的微波炉，其中，所述石墨烯图案具有与所述金属图案相同的形状。