[发明专利]光学部件搬送装置

权利要求书

1.一种光学部件搬送装置，其将组装有透镜的光学部件搬送到具有光电转换部的传感器部的光入射侧的规定位置并进行对位，该光学部件搬送装置的特征在于：

所述光学部件搬送装置包括保持机构，该保持机构具有以下的(i)和(ii)中的至少一方：

(i)吸附头，其对所述光学部件的作为光入射侧的外表面的顶面进行吸附而保持该光学部件，并且使该光学部件的位置和姿势变化；和

(ii)夹持或吸引装置，其与所述光学部件中的与所述顶面邻接的侧面抵接而保持该光学部件，并且使该光学部件的位置和姿势变化，

所述光学部件搬送装置包括控制单元，在由所述保持机构保持所述光学部件的状态下，所述控制单元，基于在设置有从所述光学部件的该顶面的上方朝向设置于该顶面的光入射用的开口孔照射光的发光元件的状态下，通过所述发光元件的光，将所述开口孔投影到所述光学部件的作为与所述顶面相反的一侧的背面侧而得到的投影图像的外边缘，确定出所述光学部件的光轴的位置，使用该光轴的位置来控制所述保持机构以使得所述光学部件装载于所述传感器部的所述规定位置。

2.如权利要求1所述的光学部件搬送装置，其特征在于：

所述光学部件包括当从所述光学部件的所述背面侧看时具有方形的外周边缘或在比该外周边缘更靠中心侧的位置具有圆形边缘的部件，

所述控制单元，当基于所述投影图像从所述光学部件的所述背面侧对所述方形的外周边缘进行图像识别，而检测到该方形的外周边缘由于倾斜拍摄而变化为梯形时，或者，从所述光学部件的所述背面侧对所述圆形的边缘进行图像识别，而检测到该圆形由于倾斜拍摄而变化为椭圆形时，控制所述保持机构，使所述光学部件的位置和姿势变化以校正倾斜。

3.如权利要求1所述的光学部件搬送装置，其特征在于：

所述光学部件搬送装置在所述光学部件的背面侧还设置有激光位移计，该激光位移计对该光学部件的位于与光轴垂直的同一平面内的至少3个部位分别照射激光来求取距离，所述控制单元根据所述激光位移计的测量结果对所述光学部件的倾斜拍摄进行测量，控制所述保持机构，使所述光学部件的位置和姿势变化以校正该倾斜拍摄。

4.如权利要求1所述的光学部件搬送装置，其特征在于：

所述保持机构包括设置有贯通孔的所述吸附头，该贯通孔具有与所述开口孔同心的圆，

所述光学部件搬送装置在隔着所述贯通孔与所述开口孔相反的一侧还设置有由所述光电转换部确认分辨率或对比度的图表，

在所述传感器部的所述光电转换部工作的状态下，所述控制单元控制所述保持机构，以所述光学部件临时装载于所述传感器部的状态，使所述光学部件与所述光电转换部的距离变化，

在所述距离变化的期间，所述图表，通过所述贯通孔，求取所述光电转换部的中心部位、及其周边的至少4个部位的分辨率或对比度，所述控制单元比较所述中心部位及其周边的彼此的分辨率或对比度的峰位置，在彼此的峰位置的差超过规定值的情况下，控制所述保持机构，使所述光学部件的位置和姿势变化，从而使该彼此的峰位置一致，以校正倾斜。

5.如权利要求1所述的光学部件搬送装置，其特征在于：

所述保持机构包括设置有贯通孔的所述吸附头，该贯通孔具有与所述开口孔同心的圆，

所述光学部件搬送装置还包括配置在隔着所述贯通孔与所述开口孔相反的一侧和所述光学部件的背面侧的、进行所述光学部件的MTF散焦特性检查的MTF测量器，

通过所述MTF测量器，测量所述开口孔的中心部位及其周边的至少4个部位的散焦特性，

所述控制单元比较所述中心部位及其周边的彼此的散焦特性的峰位置，在彼此的峰位置的差超过规定值的情况下，控制所述保持机构，使所述光学部件的位置和姿势变化，从而使该彼此的峰位置一致，以校正倾斜。

6.如权利要求1至5中任一项所述的光学部件搬送装置，其特征在于：

还包括倾斜测量器，在所述光学部件搬送装置的顶面侧或所述光学部件的顶面侧设置反射镜，所述倾斜测量器向所述反射镜照射激光，根据反射光测量倾斜，所述控制单元根据所述倾斜测量器的测量结果来测量所述光学部件的倾斜拍摄，并控制所述保持机构，使所述光学部件的位置和姿势变化，以校正该倾斜拍摄。