[发明专利]带电粒子束装置以及试样制作方法有效
| 申请号： | 201380053492.4 | 申请日： | 2013-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN104737266B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 佐藤高广;森川晃成;关原雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴;金成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 以及 试样 制作方法 | ||
【说明书】：
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