[发明专利]碳化硅粉末和其制备方法

权利要求书

1.一种制备碳化硅粉末的方法，所述方法包括：

通过混合碳源和硅源来收集混合的粉末；

通过加热所述混合的粉末来合成β相的第一碳化硅粉末；

通过对所述β相的第一碳化硅粉末造粒来形成经造粒的粉末；以及

通过加热所述经造粒的粉末来形成粒径大于所述β相的第一碳化硅粉末的α相的第二碳化硅粉末，

其中所述合成β相的第一碳化硅粉末包括在600℃至1000℃范围内的温度下进行的碳化过程和在1300℃至1700℃范围内的温度下进行的合成过程，

其中形成所述α相的第二碳化硅粉末在2000℃至2200℃范围内的温度下进行，

其中所述α相的第二碳化硅粉末包含α相的颗粒状碳化硅粉末，以及

其中所述α相的颗粒状碳化硅粉末的粒径D50为100μm至10mm，所述α相的颗粒状碳化硅粉末的分布D90/D10为1至3，包括500ppm或更少的氮，以及包括1000ppm或更少的氧。

2.根据权利要求1所述的方法，其中使用水或挥发性有机溶剂来形成所述经造粒的粉末。

3.根据权利要求1所述的方法，其中在安装有叶轮的室内通过将所述β相的第一碳化硅粉末与水或挥发性有机溶剂混合来形成所述经造粒的粉末。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述α相的颗粒状碳化硅粉末具有100μm至5mm范围内的粒径D50和在500ppm或更少的范围内的氧。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述α相的颗粒状碳化硅粉末具有100μm至1mm范围内的粒径D50和在500ppm或更少的范围内的氧。