[发明专利]用于制作磁性介质和其他结构的嵌入式掩模图案化处理

说明书

技术领域

本公开内容涉及用于磁性记录介质和其他结构的制作技术。

背景技术

已经开发出了用于存储信息的多种不同类型的磁性介质。这种磁性介质的实例包括硬盘驱动器、磁盘、磁带、磁带盒、磁光盘。在新的或者改进类型的数据存储介质的开发中，期望增加数据存储密度。针对包括生物医学感测、治疗、药物输送、成像、蛋白质净化、细胞分离、过高温或它们的组合的各种应用而期望不同的多功能纳米结构。还期望的是使生产简单化并且降低生产成本。

发明内容

描述了可应用于制作诸如磁性硬盘驱动器的磁性介质的实例系统和技术。还描述了利用这类技术制作的多个工件(article)和结构。虽然本公开主要描述了在制造用于硬盘驱动器的磁性存储介质时所使用的实例技术，但本公开不限于这类实例。例如，本文中描述的技术和结构可应用于其他类型的磁性存储设备以及其他类型的结构或设备。如下所述，本公开的系统和技术还可以用于制作人造纳米粒子、纳米孔道阵列(nanohole array)和其他纳米结构。

在一个实例中，本公开涉及一种方法，该方法包括：在基板上沉积功能层；在功能层上沉积粒状层(granular layer)，该粒状层包括限定多个晶粒(grain，颗粒)的第一材料，通过限定多个晶粒的晶界(grain boundary，颗粒边界)的第二材料分开该多个晶粒；从粒状层移除第二材料，使得粒状层的多个晶粒在功能层上限定硬掩模层；以及移除功能层的没有被硬掩模层(hard mask layer)掩蔽的部分，其中，在真空环境中执行沉积功能层、沉积粒状层、移除第二材料以及移除功能层的一部分。

在另一实例中，本公开涉及一种系统，该系统包括：至少一个沉积室，被配置为在真空环境中在基板上沉积功能层，并且在功能层上沉积粒状层，粒状层包括限定多个晶粒的第一材料，通过限定多个晶粒的晶界的第二材料分开多个晶粒；以及至少一个蚀刻室，被配置为在真空环境中从粒状层移除第二材料，使得粒状层的多个晶粒在功能层上限定硬掩模层；以及移除功能层的没有被所述硬掩模层掩蔽的部分。

在另一个实例中，本公开涉及一种工件，使用本文中所描述的一种或多种实例系统和/或技术进行制作。

在附图和以下描述中阐述了本公开的一个或多个方面的细节。从该描述、附图以及从权利要求中，在本公开中描述的技术的其它特征、目的和优点将是显而易见的。

附图说明

图1是示出了用于在真空环境中使用嵌入式硬掩模层制作工件的实例技术的流程图。

图2a至图2c是示出了在真空环境中使用嵌入式硬掩模层的制作处理期间处于不同时期的实例工件的概念图。

图3和图4是示出了用于在真空环境中使用嵌入式硬掩模层制作工件的实例系统的示意图。

图5a至图5d是示出了在真空环境中使用嵌入式硬掩模层的制作处理期间处于不同时期的另一实例工件的概念图。

图6a至图6d是示出了在真空环境中使用嵌入式硬掩模层的制作处理期间处于不同时期的另一实例工件的概念图。

图7、图11、图12a和图12b是涉及评估本公开的一个或多个方面而执行的各种实验的图像。

图8、图9、图10a、图10b和图10c是示出了评估本公开的一个或多个方面而执行的各种实验的结果的图示。

具体实施方式

描述了可应用于制作诸如磁性硬盘驱动器的磁性介质的实例系统和技术。还描述了可以使用这类技术制作的多个工件和结构。虽然本公开内容主要描述了在制造用于硬盘驱动器的磁性存储介质时所使用的实例技术，但本公开不限于这类实例。例如，本文中描述的技术和结构可应用于其他类型的磁性存储设备以及其他类型的结构或设备。如下所述，本公开的系统和技术还可以用于制作人造纳米粒子、纳米孔道阵列和其他纳米结构。另外，本公开的实例包括在于2012年8月21日提交的美国临时专利申请第61/691,681号中所描述的那些细节和实例，通过引用将其全部内容结合于本文中。