[发明专利]具有交替的导电层和不导电层的多层构造在审
申请号: | 201380055191.5 | 申请日: | 2013-10-23 |
公开(公告)号: | CN104718310A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | M.阿布阿萨尔;O.凯特尔;S.席布利;A.赖辛格 | 申请(专利权)人: | 贺利氏贵金属有限责任两合公司 |
主分类号: | C23C18/06 | 分类号: | C23C18/06;C23C18/12;G01N33/543 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 杜荔南;胡莉莉 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 交替 导电 多层 构造 | ||
技术领域
本发明涉及一种用于制造层构造的方法,该方法至少包括下列步骤:提供衬底;将第一液体施加到衬底的至少一部分上;使第一液体干燥,其中形成第一层;将第二液体施加到第一层的至少一部分上;使第二液体干燥,其中形成第二层,其中要么衬底和第二层为导电的并且第一层为绝缘的,要么其中衬底和第二层为绝缘的并且第一层为导电的。此外,本发明还涉及一种可根据前述方法获得的层构造、以及一种包括下列至少三层的层构造:i.衬底;ii.第一层;iii.第二层,其中要么衬底和第二层为导电的并且第一层为绝缘的,要么其中衬底和第二层为绝缘的并且第一层为导电的。除此之外,本发明涉及一种包含前述层构造的测量装置。
背景技术
在现有技术中,具有不同导电层的层构造大多在应用耗费的溅射工艺的情况下来描述。在此,必须使用耗费的设备来遵循方法条件,并且此外必须执行昂贵的方法来气化用于溅射的材料。
发明内容
一般地,本发明的任务在于,至少部分地克服从现有技术中得出的缺点。
另一任务在于,提供一种低成本且有效的用于制造具有至少三个层的层构造的方法。
另一任务在于,提供一种用于制造具有至少三个层的层构造的方法,利用该方法可以制造尽可能薄的层。
另一任务在于,提供一种简单且快速的用于制造具有至少三个层的层构造的方法,所述三个层中的至少两个层具有不同的电导率,也就是说,至少一个层是导电的并且至少一个第二层是绝缘的。
另一任务在于,提供一种用于制造具有至少三个层的层构造的方法,其中积聚尽可能少的废物、尤其是尽可能少的清除起来昂贵的废物。
另一任务在于,提供一种可简单和低成本地制造的具有至少三个层的层构造。
另一任务在于,提供一种可尽可能简单和低成本地制造的具有层构造的测量装置。
另一任务在于,提供一种具有层构造的测量装置,其层构造至少与从现有技术中已知的具有层构造的测量装置一样精确、可靠或长寿命地可使用。
独立权利要求的主题有助于解决开头提到的任务中的至少一个。从属于独立权利要求的从属权利要求的主题是优选的构型。
本发明的第一主题是一种用于制造层构造的方法,包括下列步骤:
a.提供衬底,
b.将第一液体施加到衬底的至少一部分上,
c.使第一液体干燥,其中形成第一层,
d.将第二液体施加到第一层的至少一部分上,
e.使第二液体干燥,其中形成第二层,
其中
A)衬底和第二层为导电的并且第一层为绝缘的,或者
B)衬底和第二层为绝缘的并且第一层为导电的。
在本发明的范围内,“导电”是指,所表示的对象具有小于10kΩ(10000欧姆)、优选小于5kΩ或者小于1kΩ的比表面电阻。但是比表面电阻常常同时大于1Ω、优选大于5Ω。如果衬底包含多个导电层,则这些层中的每个单个层的比表面电阻满足前述准则中的至少一个。多个导电层中的不同导电层可以具有在前述准则之内的相同或不同的表面电阻。
在本发明的范围内,“绝缘”是指,所表示的对象具有大于50 kΩ、优选大于500 kΩ或者大于1MΩ(1000000欧姆)的比表面电阻。但是比表面电阻常常同时小于100MΩ、优选小于10MΩ。如果衬底包含多个导电层,则这些层中的每个单个层的比表面电阻满足前述准则中的至少一个。多个导电层中的不同导电层可以具有在前述准则之内的相同或不同的表面电阻。
“生物相容”是指,所表示的对象根据ISO 10993 1-20标准满足对生物相容性的相关要求。
原理上,根据本发明的方法来形成层可以按照本领域技术人员已知的并且对根据本发明的方法显得合适的方法来进行。为了形成一个、优选多个以及特别优选所有层,特别优选地选择溶胶-凝胶方法或者如下的方法:在该方法的情况下,层形成通过从胶质溶液或分散体中沉积颗粒来进行。在绝缘层的制造方面,溶胶-凝胶方法在本发明的范围内是特别优选的。在制造导电层的方面,通过从胶质溶液或从分散体中进行沉积来施加是优选的。前述方法对本领域技术人员是熟悉的。
在根据本发明方法的一个优选构型中,施加通过与液体接触、尤其是通过浸入到液体中或者通过用液体喷涂必要时被镀层的衬底来执行。多个层可以以相同或不同方式来施加。多个相同的层也可以被不同地施加,也就是说,例如第一次通过浸入并且另一次通过喷涂。
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