[发明专利]压电材料、压电元件和电子设备

权利要求书

1.压电材料，包括：具有下述通式(1)的钙钛矿型金属氧化物；第一辅助成分Mn；和第二辅助成分Mg，

其中基于金属、每摩尔该钙钛矿型金属氧化物Mn的量b(摩尔)在0.0048≤b≤0.0400的范围内，并且基于金属、每100重量份的该钙钛矿型金属氧化物Mg含量为0.100重量份以下，不包括0重量份，

(Ba_1-xCa_x)_a(Ti_1-y-zSn_yZr_z)O₃     (1)

其中x在0.050≤x≤0.200的范围内，y在0.010≤y≤0.040的范围内，z在0≤z≤0.040的范围内，条件是x≥0.375(y+z)+0.050，a在0.9925+b≤a≤1.0025+b的范围内，条件是b在0.0048≤b≤0.0400的范围内。

2.根据权利要求1的压电材料，其中该钙钛矿型金属氧化物具有下述通式(2)，其对应于其中z＝0的通式(1)，

(Ba_1-xCa_x)_a(Ti_1-ySn_y)O₃     (2)

其中x在0.050≤x≤0.200的范围内，y在0.010≤y≤0.040的范围内，条件是x≥0.375y+0.050，a在0.9925+b≤a≤1.0025+b的范围内，条件是b在0.0048≤b≤0.0400的范围内。

3.根据权利要求1或2的压电材料，还包括第三辅助成分，该第三辅助成分含有选自Cu、B和Si中的至少一种，其中基于金属，该第三辅助成分含量为0.001重量份-4.000重量份每100重量份的该钙钛矿型金属氧化物。

4.根据权利要求1-3的任一项的压电材料，其中该压电材料含有具有1μm-10μm的平均当量圆直径的晶粒，并且具有25μm以下的当量圆直径的晶粒占全部晶粒的99个数％以上。

5.根据权利要求1-4的任一项的压电材料，其中该压电材料具有90％-100％的相对密度。

6.压电元件，包括：第一电极；压电材料；和第二电极，其中该压电材料是根据权利要求1-5的任一项的压电材料。

7.多层压电元件，包括：彼此在其上交替地层叠的压电材料层和电极层，该电极层包括内部电极，其中该压电材料层由根据权利要求1-5的任一项的压电材料制成。

8.根据权利要求7的多层压电元件，其中该内部电极含有Ag和Pd，并且Ag的重量M1与Pd的重量M2的重量比M1/M2在1.5≤M1/M2≤9.0的范围内。

9.排液头，包括：液室；和与该液室连通的排出口，其中该液室具有振动单元，该振动单元包括根据权利要求6的压电元件或根据权利要求7或8的多层压电元件。

10.排液装置，包括：记录介质传送单元；和根据权利要求9的排液头。

11.超声波马达，包括：振动部件，该振动部件包括根据权利要求6的压电元件或根据权利要求7或8的多层压电元件；和与该振动部件接触的移动体。

12.光学装置，包括驱动单元，该驱动单元包括根据权利要求11的超声波马达。

13.振动装置，包括振动部件，该振动部件包括根据权利要求6的压电元件或根据权利要求7或8的多层压电元件。

14.除尘器件，包括振动单元，该振动单元包括在隔膜上设置的根据权利要求13的振动装置。

15.摄像装置，包括：根据权利要求14的除尘器件；和摄像元件单元，其中将该除尘器件的隔膜和该摄像元件单元的受光表面设置在同一轴上，并且该除尘器件与该摄像元件单元的受光表面相对。

16.电子设备，包括压电声部件，该压电声部件包括根据权利要求6的压电元件或根据权利要求7或8的多层压电元件。