[发明专利]研磨用组合物无效
| 申请号： | 201380057157.1 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN104755580A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 大西正悟;石田康登;平野达彦 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/321;B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨用组合物，其用于具有金属布线层的研磨对象物的研磨，所述研磨用组合物包含：
金属防腐剂、
络合剂、
表面活性剂、和
水，
使用所述研磨用组合物研磨所述研磨对象物后的研磨对象物表面的固体表面能为30mN/m以下。
2.根据权利要求1所述的研磨用组合物，其中，所述表面活性剂为阴离子性表面活性剂。
3.根据权利要求2所述的研磨用组合物，其中，所述阴离子性表面活性剂具有碳数为8个以上的烷基。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的研磨用组合物，其还含有磨粒。
5.一种研磨方法，其用权利要求1～4中任一项所述的研磨用组合物研磨具有金属布线层的研磨对象物。
6.一种基板的制造方法，其包括用权利要求5所述的研磨方法研磨具有金属布线层的研磨对象物的工序。
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