[发明专利]光刻胶剥离液组合物及光刻胶的剥离方法有效
| 申请号： | 201380058917.0 | 申请日： | 2013-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN104781732B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 许舜范;金炳郁;赵泰杓;尹锡壹;郑世桓;张斗瑛;朴善周 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/004 |
| 代理公司： | 11399 北京冠和权律师事务所 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 剥离 组合 方法 | ||
1.一种光刻胶去除用剥离液组合物，其包括：
N,N-二甲基丙酰胺10至90重量％；
丙酮缩甘油(Solketal)5至80重量％；
有机胺1至20重量％；
非质子极性溶剂1至30重量％，
其中，所述非质子极性溶剂为选自由二甲基亚砜、N-甲基甲酰胺(NMF)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基咪唑、γ-丁内酯以及环丁砜组成的组中的一种以上。
2.根据权利要求1所述的光刻胶去除用剥离液组合物，其中，上述有机胺包含选自由单乙醇胺(MEA)、乙二胺、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、2-(2-氨乙基氨基)乙醇、1-氨基-2-丙醇、二乙醇胺、亚氨基二丙胺、2-甲氨基乙醇、甲基二乙醇胺、三乙氨基乙醇、1-(2-羟乙基)哌嗪(HEP)、1-(2-氨乙基)哌嗪、1-(2-羟乙基)甲基哌嗪、N-(3-氨丙基)吗啉、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、1-氨基-4-甲基哌嗪、1-苄基哌嗪、以及1-苯基哌嗪组成的组中的1种以上化合物。
3.根据权利要求1所述的光刻胶去除用剥离液组合物，其中，对于剥离液组合物总量，进一步包含1至40重量％的超纯水。
4.根据权利要求1所述的光刻胶去除用剥离液组合物，其中，对于剥离液组合物总量，进一步包含0.01至10重量％的防腐剂。
5.一种光刻胶的剥离方法，其使用权利要求1至4中任一项所述的剥离液组合物。
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