[发明专利]静电夹具

权利要求书

1.一种静电夹具，包括：电极、位于所述电极上的阻性材料的层、以及位于所述阻性材料上的电介质的层，其中所述静电夹具进一步包括从所述电介质的层突出的突节。

2.根据权利要求1所述的静电夹具，其中，所述突节由电介质形成。

3.根据权利要求2所述的静电夹具，其中，所述突节与所述电介质材料的层均由相同电介质形成。

4.根据权利要求2所述的静电夹具，其中，所述突节由与用于形成所述电介质的层的所述电介质不同的电介质形成。

5.根据前述权利要求中任一项所述的静电夹具，其中，其上提供了所述电介质的层的所述阻性材料的层的表面是平滑的。

6.根据前述权利要求中任一项所述的静电夹具，其中，其上提供了所述电介质的层的所述阻性材料的层的表面是抛光的。

7.根据前述权利要求中任一项所述的静电夹具，其中，所述突节由类金刚石碳形成。

8.根据前述权利要求中任一项所述的静电夹具，其中，所述电介质的层与所述突节均由类金刚石碳形成。

9.一种静电夹具，包括：电极、以及位于所述电极上的电介质的层，其中所述静电夹具进一步包括从所述电介质的层突出的突节。

10.根据权利要求9所述的静电夹具，其中，所述突节由电介质形成。

11.根据权利要求10所述的静电夹具，其中，所述突节与所述电介质材料的层均由相同电介质形成。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的静电夹具，其中，其上提供了所述电介质的层的所述电极的表面是平滑的。

13.一种光刻设备，包括根据权利要求1或9所述的夹具。

14.一种制造静电夹具的方法，包括：

在电极的顶部上提供阻性材料的层；

在所述阻性材料的层的顶部上提供电介质的层；

移除一些所述电介质以形成从所述电介质的层突出的突节。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，其上提供了所述电介质的层的所述阻性材料的层的表面是平滑的。

16.根据权利要求14或15所述的方法，其中，其上提供了所述电介质的层的所述阻性材料的层的表面是抛光的。

17.一种制造静电夹具的方法，包括：

在电极的顶部上提供阻性材料的层；

在所述阻性材料的层的顶部上提供电介质的层；

在所述电介质的层的顶部上形成突节。

18.根据权利要求17所述的方法，其中，所述突节由电介质形成。

19.根据权利要求18所述的方法，其中，所述突节和所述电介质的层均使用相同电介质形成。

20.根据权利要求17至19中任一项所述的方法，其中，其上提供了所述电介质的层的所述阻性材料的层的表面是平滑的。

21.根据权利要求17至20中任一项所述的方法，其中，其上提供了所述电介质的层的所述阻性材料的层的表面是抛光的。

22.一种制造静电夹具的方法，包括：

在电极的顶部上提供电介质的层；

移除一些所述电介质以形成从所述电介质的层突出的突节。

23.根据权利要求22所述的方法，其中，其上提供了所述电介质的层的所述电极的表面是平滑的。

24.根据权利要求22或23所述的方法，其中，其上提供了所述电介质的层的所述电极的表面是抛光的。

25.一种制造静电夹具的方法，包括：

在电极的顶部上提供电介质的层；

在所述电介质材料的层的顶部上形成突节。

26.根据权利要求25所述的方法，其中，其上提供了所述电介质的层的所述电极的表面是平滑的。

27.根据权利要求25或26所述的方法，其中，其上提供了所述电介质的层的所述电极的表面是抛光的。