[发明专利]闪烁体面板

说明书

技术领域

本发明涉及用于在医疗诊断装置、非破坏检查仪器等中使用的放射线检测装置的闪烁体面板。

背景技术

一直以来，在医疗现场广泛使用了利用膜的X射线图像。但是，由于利用了膜的X射线图像是模拟图像信息，因此在近年来开发了计算机照射术（computed radiography：CR）、平板型放射线探测器（flat panel detector：FPD）等数字方式的放射线检测装置。

平板X射线检测装置（FPD）中，为了将放射线转换成可见光而使用了闪烁体面板。闪烁体面板包含碘化铯（CsI）等X射线荧光体，根据所照射的X射线，该X射线荧光体放射出可见光，该光线通过TFT（thin film transistor，薄膜晶体管）、CCD（charge-coupled device，电荷耦合器件）而转换成电信号，由此将X射线的信息转换成数字图像信息。但是，FPD存在S/N比较低这一问题。作为用于提高S/N比的方法而提出了如下方法：从光检测器侧照射X射线的方法（专利文献1和2）；为了减小由X射线荧光体带来的可见光发生散射的影响，而向被隔壁分隔开的单元内填充X射线荧光体的方法（专利文献3~6）。

作为形成这种隔壁的方法，以往使用的方法有如下方法：对硅晶片进行蚀刻加工的方法；或者，通过丝网印刷法将颜料或陶瓷粉末与低熔点玻璃粉末的混合物即玻璃糊剂进行粉末印刷成多层后进行煅烧，从而形成隔壁的方法等。然而，对于对硅晶片进行蚀刻加工的方法，能够形成的闪烁体面板的尺寸受到硅晶片尺寸的限制，无法获得500mm见方之类的大尺寸产物。为了制作大尺寸的产物，需要将小尺寸的产物排列多个来制作，该制作在精度方面较为困难，难以制作大面积的闪烁体面板。

另外，在使用了玻璃糊剂的多层丝网印刷法中，由于丝网印刷模板的尺寸变化等而难以进行高精度的加工。另外，为了防止进行多层丝网印刷时的隔壁崩塌缺损，需要将隔壁宽度设为一定值以上来提高隔壁的强度。然而，隔壁宽度变宽时，隔壁间的空间相对变窄，能够填充X射线荧光体的体积变小，且填充量不均匀。因此，由该方法得到的闪烁体面板中的X射线荧光体的量少，因而存在发光变弱和产生发光不均之类的缺点。这些因素在低剂量的摄影中会对进行清晰的拍摄造成影响。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第3333278号

专利文献2：日本特开2001-330677号公报

专利文献3：日本特开平5-60871号公报

专利文献4：日本特开平5-188148号公报

专利文献5：日本特开2011-007552号公报

专利文献6：日本特开2011-021924号公报。

发明内容

发明要解决的问题

为了制作发光效率高、实现清晰画质的闪烁体面板，需要能够以高精度进行大面积的加工、且能够缩小隔壁宽度的隔壁加工技术、以及使荧光体所发出的的可见光不向隔壁外部泄露的技术。

本发明的课题在于，解决上述问题，提供大面积而高精度地形成宽度较细的隔壁、且发光效率高、实现清晰画质的闪烁体面板。

用于解决问题的方案

该课题通过以下技术方案中的任一项来实现。

（1）一种闪烁体面板，其具有闪烁体层，所述闪烁体层包含平板状的基板、设置在该基板上的隔壁、以及填充在被上述隔壁间隔出的单元内的荧光体，上述隔壁的仅一个侧面形成有反射层。

（2）上述（1）所述的闪烁体面板，其中，上述隔壁在30μm厚度下的波长550nm的光的透射率为10~100%。

（3）上述（1）或（2）所述的闪烁体面板，其中，上述反射层的波长550nm的光的反射率为60%以上。

（4）上述（1）~（3）中任一项所述的闪烁体面板，其中，上述隔壁为格子状的隔壁。

（5）上述（4）所述的闪烁体面板，其中，上述单元被区分为：所有内侧面形成有反射层的单元A、以及所有内侧面均未形成反射层的单元B。

（6）上述（5）所述的闪烁体面板，其中，上述单元A的间距宽于上述单元B的间距。

（7）上述（1）~（3）中任一项所述的闪烁体面板，其中，上述隔壁为条纹状的隔壁。

（8）上述（7）所述的闪烁体面板，其中，上述单元被区分为：所有内侧面形成有反射层的单元C、以及所有内侧面均未形成反射层的单元D。