[发明专利]用于接合之装置及方法

权利要求书

1. 一种用于将一第二基板(5)接合至一第一基板(2)上之装置，该装置具有以下特征：

一接纳设备(1)，其用于接纳已涂布有一接合层(3)之该第一基板(2)及固持于该接合层(3)上之该第二基板(5)，

一动作设备，其用于在该第二基板(5)之一个动作侧(5o)上将一接合力施加至该第二基板(5)，该侧背对该接合层(3)，自位于该动作侧(5o)之一边缘区R内之一初始区A开始进行直至作用于该整个动作侧(5o)。

2. 根据权利要求1所述的装置，其中该动作设备具有一压力圆盘(6)，该压力圆盘(6)具有一凸面弯曲之压力转移侧(6u)。

3. 根据权利要求2所述的装置，其中该压力转移侧(6u)之正切平面沿法向于该正切平面之方向间隔开至少5 nm及/或一最大500 μm、尤其至少20 nm及/或一最大200 μm、较佳地至少50 nm及/或最大50 μm、更佳地至少100 nm及/或一最大5 μm。

4. 根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其中该初始区A同心地配置至该动作侧(5o)。

5. 根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其中该动作设备具有施加由一控制设备控制之该接合力之一冲头。

6. 根据权利要求2所述的装置，其中该压力圆盘系由囊括该压力转移侧(6u)之一下部圆盘(9)及经由固定构件(8)尤其在一个周边P之区域中固定该压力圆盘(6)之一保持圆盘(4)形成。

7. 根据权利要求6所述的装置，其中使该下部圆盘(9)在该初始区A之区域中比在该周边P上厚。

8. 根据权利要求6所述的装置，其中在该下部圆盘(9)与该保持圆盘(4)之间在该初始区A之该区域中，存在一间隔件组件(7)。

9. 根据权利要求6所述的装置，其中为设定该压力转移侧(6u)之曲率，存在尤其由该控制设备控制之一曲率组件(10)，该曲率组件(10)在该初始区A之该区域中作用于与该保持圆盘(4)相对之该下部圆盘(9)。

10. 一种用于将一第二基板(5)接合至一第一基板(2)上之方法，该方法具有以下步骤，尤其按以下序列：

一接纳设备(1)，其用于接纳已涂布有一接合层(3)之该第一基板(2)及固持于该接合层(3)上之该第二基板(5)，

一动作设备，其用于在该第二基板(5)之一个动作侧(5o)上将一接合力施加至该第二基板(5)，该侧背对该接合层(3)，自位于该动作侧(5o)之一边缘区R内之一初始区A开始进行直至作用于该整个动作侧(5o)。