[发明专利]振动控制的基板传送机械手、系统及方法

权利要求书

1.一种振动控制的机械手设备，包括：

机械手，所述机械手具有终端受动器，所述终端受动器能操作以输送基板；

传感器，所述传感器耦接至所述机械手，所述传感器能操作以在所述机械手输送所述基板时感测振动；及

基于由所述传感器测量的数据来减少所述机械手的振动。

2.如权利要求1所述的振动控制的机械手设备，其中所述传感器是微电机系统(MEMS)加速度计。

3.如权利要求1所述的振动控制的机械手设备，包括滤波器，所述滤波器能操作以过滤到达所述机械手的某些输入频率。

4.如权利要求3所述的振动控制的机械手设备，其中所述滤波器包括陷波滤波器，所述陷波滤波器能操作以通过阻止预设定频率下的振动传达至所述基板来减少振动。

5.如权利要求3所述的振动控制的机械手设备，其中所述总容许振动低于0.1g的加速度。

6.如权利要求1所述的振动控制的机械手设备，进一步包括振动控制器，所述振动控制器能操作以接收来自所述传感器的指示所述振动的第一信号。

7.如权利要求6所述的振动控制的机械手设备，其中所述振动控制器包括用以将感测到的振动与所述机械手的特定运动相关联的逻辑。

8.如权利要求7所述的振动控制的机械手设备，其中所述逻辑将所述第一信号与数据库对比以确定预期振动。

9.一种机械手振动减少方法，所述方法包括以下步骤：

利用机械手的终端受动器支撑基板；

提供耦接至所述机械手的传感器；

在所述机械手输送所述基板时利用所述传感器检测所述机械手的振动；

确定发生不利的振动量的一或更多个条件；及

将所述机械手的所述终端受动器的所述振动的至少一些振动降至最低。

10.如权利要求9所述的方法，其中将所述机械手的所述振动的至少一些振动降至最低的步骤包括以下步骤：

将滤波器应用至电机驱动电路以拦截发生所述不利的振动量的一或更多个频率。

11.如权利要求9所述的方法，其中将所述机械手的所述振动的至少一些振动降至最低的步骤包括以下步骤：

阻止所述机械手在发生所述不利的振动量的所述频率下操作。

12.如权利要求9所述的方法，其中确定发生不利的振动量的频率的步骤包括以下步骤：

利用振动体人工诱发外部振动。

13.一种振动控制的基板输送系统，包括：

腔室；

机械手，所述机械手收纳在所述腔室中，所述机械手具有终端受动器，所述终端受动器能操作以输送基板；及

传感器，所述传感器耦接至所述机械手，所述传感器能操作以在所述机械手支撑所述基板时检测所述机械手的振动。

14.如权利要求13所述的系统，包括用于驱动电机的驱动电路，所述驱动电路具有滤波器，所述滤波器能操作以减少所述终端受动器的振动。

15.如权利要求13所述的系统，其中所述滤波器是陷波滤波器。