[发明专利]带电粒子束装置及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过向试样照射带电粒子束来进行该试样的图像取得等的带电粒子束装置及其程序。

背景技术

带电粒子束装置通过向对象试样照射带电粒子束，来进行对象试样的观察或分析等。例如，在扫描电子显微镜(SEM:Scanning Electron Microscope)或透射型电子显微镜(TEM:Transmission Electron Microscope)中，为了根据通过向对象试样照射带电粒子束而得到的各种信息来生成对象试样的显微镜像，取得适用于该试样的观察的图像，要求进行与带电粒子束装置的动作相关的各种设定值的细微调整。

此外，在扫描电子显微镜或透射型电子显微镜中，如在使用带电粒子束的其他多个装置中看到那样，大多情况下与动作相关的设定值的调整范围非常广，因此在该较广的设定范围中需要进行较大地变更各设定值的调整和细微地变更的调整这两者。

关于这样的带电粒子束装置的设定值的调整，例如在专利文献1(日本特开2007－242432号公报)中公开了如下的带电粒子束装置，即为了控制带电粒子束装置，且为了变更带电粒子束装置所具备的至少成为一个控制对象的装置的设定值来控制装置，而具备具有以用户能够移动操作其位置的方式设置的标记的图形用户界面上的滑块和用于进行标记位置的移动操作的指示器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007－242432号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在上述现有技术中，当用户激活了滑块上的标记位置的移动操作时，通过变换单元将取得的从标记基准位置开始的位移量换算成变更速度值，将基于该换算值的指令以由定时器设定的一定时间间隔发送给装置。然后，在标记位置的移动操作激活的期间，继续进行对根据重新取得的从标记的基准位置开始的位移量更新后的指令进行装置发送的处理，由此根据从标记的基准位置开始的位移量使装置设定值的变更速度变化。也就是说，由于是在标记位置的移动操作激活的期间继续进行装置设定值的变更的结构，因此很难在目标值停止设定值的变更，从而需要反复进行多次设定值的变更。

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的是提供一种能够容易且准确地进行与动作控制相关的设定值的粗调整和微调整的带电粒子束装置以及能够实现它的程序。

用于解决课题的手段

为了实现上述目的，本发明的通过向试样照射带电粒子束来生成所述试样的图像的带电粒子束装置，具备：显示装置，其至少显示用于显示所述试样的图像的图像显示部；指示器，其为了进行在所述显示装置的画面上配置的对象的选择或移动等操作，而进行在所述画面上显示的光标的操作；第1设定值调整轴显示部，其与所述图像显示部被并排配置在所述显示装置的画面上，显示用于调整在所述带电粒子束装置的控制中使用的至少一个设定值的设定值调整轴的局部；第1调整滑块，其被配置在所述设定值调整轴上，并被设置成通过由所述指示器操作的光标而能够沿着所述设定值调整轴移动；第2调整滑块，其被配置在所述设定值调整轴上，根据所述设定值调整轴上的位置设定所述设定值，使所述第2调整滑块与基于所述光标的所述第1调整滑块的移动操作联动地沿着所述设定值调整轴移动，在所述第1调整滑块位于所述设定值调整轴的所述第1设定值调整轴显示部所显示的范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块的移动距离减小所述第2调整滑块的移动距离，并且在所述第1调整滑块位于所述设定值调整轴的所述第1设定值调整轴显示部所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且所述第2调整滑块位于所述两端部以外的位置的情况下，通过所述光标对所述第1调整滑块进行了预定的操作时，不移动所述第1调整滑块，仅使所述第2调整滑块向所述一方的端部方向移动。

发明效果

根据本发明，能够容易且准确地进行与动作控制相关的设定值的粗调整和微调整。

附图说明

图1是表示本实施方式的扫描电子显微镜的整体结构的图。

图2是概要性地表示控制部的处理功能的基本结构的图。

图3是表示进行在基于计算机部的扫描电子显微镜的动作控制中所使用的各种数值的设定的数值设定画面的图。

图4是表示设定值调整轴的整体的图。

图5是表示显示第2设定值调整轴显示部的情况的图。

图6是表示通过光标选择了第1调整滑块时的基于计算机部的数值设定部显示处理的细节的流程图。