[发明专利]负型感光性树脂组合物、树脂固化膜、分隔壁和光学元件

权利要求书

1.一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，含有：具有烯属双键的碱溶性树脂或碱溶性单体(A)、光聚合引发剂(B)、1分子中具有3个以上巯基的硫醇化合物(C)、以及拒墨剂(D)，

所述硫醇化合物(C)为选自季戊四醇四(3-巯基丁酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)、三-[(3-巯基丙酰氧基)-乙基]-异氰脲酸酯、二季戊四醇六(3-巯基丙酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基丁酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丁酸酯)、二季戊四醇六(3-巯基丁酸酯)、1,3,5-三(3-巯基丁酰氧基乙基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮、三苯酚甲烷三(3-巯基丙酸酯)、三苯酚甲烷三(3-巯基丁酸酯)、三羟甲基乙烷三(3-巯基丁酸酯)、2,4,6-三巯基-均三嗪中的至少一种；

所述拒墨剂(D)具有氟原子，所述拒墨剂(D)中的氟原子的含有率为1～40质量％；所述拒墨剂(D)为具有烯属双键的化合物。

2.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中，在负型感光性树脂组合物中的全部固体成分中含有5～80质量％具有烯属双键的碱溶性树脂或碱溶性单体(A)、0.1～50质量％光聚合引发剂(B)、以及0.01～15质量％拒墨剂(D)。

3.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其中，以使所述硫醇化合物(C)所具有的巯基相对于所述负型感光性树脂组合物中的全部固体成分所具有的烯属双键1摩尔为0.0001～1摩尔的方式含有该化合物。

4.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述拒墨剂(D)为水解性硅烷化合物的部分水解缩合物。

5.根据权利要求4所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述部分水解缩合物为水解性硅烷化合物混合物的部分水解缩合物，所述水解性硅烷化合物混合物包含具有氟亚烷基和/或氟烷基以及水解性基团的水解性硅烷化合物(s1)。

6.根据权利要求5所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述水解性硅烷化合物混合物还包含在硅原子上键合有4个水解性基团的水解性硅烷化合物(s2)。

7.根据权利要求6所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述水解性硅烷化合物混合物还包含具有具备烯属双键的基团和水解性基团、且不含氟原子的水解性硅烷化合物(s3)。

8.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其还包含1分子中具有2个以上烯属双键、且不具有酸性基团的交联剂(E)。

9.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其还包含溶剂(F)。

10.一种树脂固化膜，其使用权利要求1～9中任一项所述的负型感光性树脂组合物而形成。

11.一种树脂固化膜，其为形成于基板上的权利要求10所述的树脂固化膜，

在利用使用了Ar溅射离子的X射线光电子能谱法(XPS)进行的所述树脂固化膜的厚度方向的组成分析中，

所述树脂固化膜的表面的氟原子浓度相对于碳原子浓度的比值[F/C]_(i)为0.100～3.000，该[F/C]_(i)大于表层内部区域的氟原子浓度相对于碳原子浓度的比值的平均值[F/C]_(ii)，其中，所述表层内部区域以距所述树脂固化膜的表面4nm厚的位置为起点且以距该表面7nm厚的位置为终点，并且，

所述树脂固化膜的表面的硫原子浓度相对于碳原子浓度的比值[S/C]_(i)、以及所述树脂固化膜的所述表层内部区域的硫原子浓度相对于碳原子浓度的比值的平均值[S/C]_(ii)为0.001～0.050。

12.一种分隔壁，其形成为将基板表面分隔成用于形成点的多个分区的形状，所述分隔壁由权利要求10或11所述的树脂固化膜形成。