[发明专利]在真空管道中的与之相关的改进

权利要求书

1. 一种用在真空泵送系统中的压力调节设备，其具有入口、出口以及管道，所述管道被插在所述入口和所述出口之间并且与所述入口和所述出口处于流体连通，其中，所述管道的截面积大于满足所述入口和所述出口的导通性要求所需的截面积。

2. 根据权利要求1所述的压力调节设备，其包括与所述管道处于流体连通的至少一个中空膨胀腔室。

3. 根据权利要求2所述的压力调节设备，其中，所述至少一个中空膨胀腔室提供所述管道的过量自由体积，用于累积处理气体。

4. 一种适于将增压泵的出口连接至前级泵的入口的歧管，其包括根据权利要求1、2或3中的任一项所述的压力调节设备。

5. 根据权利要求3所述的歧管，其包括具有入口孔和出口孔的管道部分，所述入口孔在使用时能够密封地连接至所述增压泵的所述出口，所述出口孔在使用时能够密封地连接至所述前级泵的所述入口。

6. 根据权利要求5所述的歧管，其中，所述或每个孔均包括在使用时能够连接至所述增压泵或前级泵的连接凸缘的大体平面的连接凸缘。

7. 根据权利要求6所述的歧管，其中，当在使用时沿着气体流经所述歧管的方向观看时，所述孔对准成至少部分地重叠。

8. 根据权利要求4至7中任一项所述的歧管，还包括与所述管道部分处于流体连通的至少一个膨胀腔室部分。

9. 根据权利要求8所述的歧管，其中，所述管道部分和所述膨胀腔室的组合体积为所述管道部分的体积的约2至30倍。

10. 根据权利要求8或权利要求9所述的歧管，其中，所述管道部分和所述膨胀腔室的组合体积为所述管道部分的体积的约5至20倍。

11. 根据权利要求8、9或10中的任一项所述的歧管，其中，所述管道部分和所述膨胀腔室的组合体积为所述管道部分的体积的约5至15倍。

12. 根据权利要求8至11中的任一项所述的歧管，其中，所述管道部分和所述膨胀腔室的组合体积为所述管道部分的体积的约5至10倍。

13. 根据权利要求8至12中的任一项所述的歧管，其中，所述管道部分和所述膨胀腔室的组合体积为所述管道的体积的约7.5倍。

14. 根据权利要求8至13中的任一项所述的歧管，其中，所述管道部分和所述膨胀腔室的组合内部自由体积与最大的预计处理腔室体积的比例为所述增压排量与前级泵排量的比例的至少0.2%。

15. 根据权利要求8至14中的任一项所述的歧管，其中，所述管道部分和所述膨胀腔室的组合内部自由体积与最大的预计处理腔室体积的比例为所述增压排量与前级泵排量的比例的至少1%。

16. 根据权利要求8至15中的任一项所述的歧管，其中，所述歧管包括通过金属铸造处理大体形成为中空箱的主体部分。

17. 根据权利要求8至16中的任一项所述的歧管，其中，所述管道部分在内部成形为用于在所述入口和所述出口孔洞的形状和大小之间提供光滑且渐进的过渡。

18. 根据权利要求8至20中的任一项所述的歧管，其中，所述或每个中空膨胀腔室部分从所述管道部分沿径向向外延伸。

19. 根据权利要求8至21中的任一项所述的歧管，还包括与所述管道部分处于流体连通的辅助口。

20. 根据权利要求22所述的歧管，其中，所述辅助口形成为所述膨胀腔室中的一个的侧壁中的贯通孔洞。

21. 根据权利要求9至23中的任一项所述的歧管，其中，所述歧管的主体部分包括结构支撑构件，用于连接至所述增压泵和所述前级泵中的任一者两者。

22. 一种压力调节设备或歧管，其基本如前文所述，其参考附图的图4至7并如附图的图4至7所示。

23. 一种包括增压泵和前级泵的真空系统，所述系统还包括根据权利要求4至22所述的压力调节设备，其中，所述歧管的所述入口被连接至所述增压泵的所述出口并且与其处于流体连通，并且所述歧管出口被连接至所述前级泵的所述入口并且与其处于流体连通。

24. 一种如本文所述的真空系统，其参考附图的图4至7并且如附图的图4至7所示。