[发明专利]能够微细涂布的无机氧化物被膜形成用涂布液以及微细无机氧化物被膜的制造方法

权利要求书

1.一种用于通过微细液滴吐出装置进行的涂布的金属氧化物被膜形成用涂布液，其特征在于，含有下述通式(I)所示的第一金属醇盐、下述通式(II)所示的金属盐、有机溶剂、水和防析出剂，在全部有机溶剂中含有30质量％以上的选自乙二醇、丙二醇、1,2‐丁二醇、1,3‐丁二醇、1,4‐丁二醇、1,2‐戊二醇、1,3‐戊二醇、1,4‐戊二醇、1,5‐戊二醇、2,4‐戊二醇、2,5‐己二醇、二乙二醇、二丙二醇、三乙二醇、以及N‐甲基吡咯烷酮的至少1种，且表面张力在28mN/m以上；

M¹(OR¹)_n   (I)

M¹表示选自硅、钛、钽、锆、硼、铝、镁以及锌的至少1种金属，R¹表示碳数1～5的烷基或乙酰氧基，n表示2～5的整数；

M²(X)_k   (II)

M²表示选自铝、铟、锌、锆、铋、镧、钽、钇以及铈的至少1种金属，X表示盐酸、硝酸、硫酸、乙酸、草酸、氨基磺酸、磺酸、乙酰乙酸或乙酰丙酮化物的残基，或它们的碱式盐，k表示M²的价数。

2.如权利要求1所述的金属氧化物被膜形成用涂布液，其特征在于，还含有下述通式(III)所示的第二金属醇盐；

R²_lM³(OR³)_m-l   (III)

M³表示选自硅、钛、钽、锆、硼、铝、镁以及锌的至少1种金属，R²表示氢原子或氟原子，或者可具有杂原子的碳数1～20的烃基，该可具有杂原子的碳数1～20的烃基可被卤素原子、乙烯基、环氧丙氧基、巯基、甲基丙烯酰氧基、丙烯酰氧基、异氰酸酯基、氨基或者脲基取代，R³表示碳数1～5的烷基，m表示2～5的整数，l在m为3情况下为1或2，在m为4的情况下为1～3的整数，在m为5的情况下为1～4的整数。

3.如权利要求2所述的金属氧化物被膜形成用涂布液，其特征在于，所述第二金属醇盐的含量相对于全部金属醇盐为15摩尔％以上。

4.如权利要求1～3中任一项所述的金属氧化物被膜形成用涂布液，其特征在于，所述防析出剂为选自N-甲基-吡咯烷酮、乙二醇、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、二乙二醇、丙二醇、己二醇和它们的衍生物的至少1种。

5.如权利要求1～4中任一项所述的金属氧化物被膜形成用涂布液，其特征在于，金属盐的金属原子的摩尔数M²和金属醇盐的金属原子的合计的摩尔数M的摩尔比为0.01≤M²/M≤0.7。

6.如权利要求1～5中任一项所述的金属氧化物被膜形成用涂布液，其特征在于，第一金属醇盐为硅醇盐或其部分缩合物与钛醇盐的混合物。

7.如权利要求1～6中任一项所述的金属氧化物被膜形成用涂布液，其特征在于，金属盐为金属硝酸盐、金属硫酸盐、金属乙酸盐、金属氯化物、金属草酸盐、金属氨基磺酸盐、金属磺酸盐、金属乙酰乙酸盐、金属乙酰丙酮化物或它们的碱式盐。

8.如权利要求1～7中任一项所述的金属氧化物被膜形成用涂布液，其特征在于，第一金属醇盐为硅醇盐或其部分缩合物与钛醇盐的混合物，有机溶剂含有亚烷基二醇类或其单醚衍生物。

9.一种金属氧化物被膜，其特征在于，用微细液滴吐出装置涂布权利要求1～8中任一项所述的金属氧化物被膜形成用涂布液而得。

10.一种金属氧化物被膜，其特征在于，用喷射点胶器涂布权利要求1～8中任一项所述的金属氧化物被膜形成用涂布液而得。

11.一种金属氧化物被膜，其特征在于，用压电方式喷射点胶器涂布权利要求1～8中任一项所述的金属氧化物被膜形成用涂布液而得。

12.一种金属氧化物被膜的形成方法，其特征在于，使用喷射点胶器将权利要求1～8中任一项所述的金属氧化物被膜形成用涂布液形成为电极交叉部微细绝缘层。

13.一种金属氧化物被膜的形成方法，其特征在于，使用压电方式喷射点胶器将权利要求1～8中任一项所述的金属氧化物被膜形成用涂布液形成为电极交叉部微细绝缘层。