[发明专利]振动波驱动设备、图像拾取设备、光学装置、液体排出设备和电子装置

权利要求书

1.一种通过向压电元件施加AC电压来产生振动波的振动波驱动设备，该振动波驱动设备包括：

压电元件，该压电元件包含压电材料和电极；和

电容器，该电容器与压电元件并行连接，

其中，所述压电材料含有作为主要成分的钙钛矿型金属氧化物，该钙钛矿型金属氧化物由通式(1)代表：

(Ba_1-xCa_x)_a(Ti_1-yZr_y)O₃   (1)

这里，1.00≤a≤1.01,0.02≤x≤0.30,0.020≤y≤0.095,并且y≤x，

其中，所述钙钛矿型金属氧化物含有Mn，以金属为基础，100重量份的钙钛矿型金属氧化物中Mn的含量为大于或等于0.02重量份且小于或等于0.40重量份，

其中，所述电容器含有作为主要成分的Ba、Ca、Ti和Zr，并且

其中，当-60℃～+50℃的温度范围中的所述压电材料的相对介电常数的最大值为ε(Pmax)、所述压电材料的相对介电常数的所述最大值处的温度为Tε(Pmax)、所述温度Tε(Pmax)处的所述电容器的相对介电常数为ε(Cc)、-60℃～+50℃的温度范围中的所述电容器的相对介电常数的最大值为ε(Cmax)、以及所述电容器的相对介电常数的所述最大值处的温度为Tε(Cmax)时，满足20[℃]≤Tε(Cmax)-Tε(Pmax)≤75[℃]和0.50≤ε(Cc)/ε(Cmax)≤0.80。

2.根据权利要求1的振动波驱动设备，其中，在通式(1)中，所述压电材料满足(11x/14)-0.118≤y≤(11x/14)-0.037。

3.根据权利要求1或2的振动波驱动设备，其中，所述电容器含有作为主要成分的金属氧化物，该金属氧化物由通式(2)代表：

(Ba_1-x'Ca_x')_a'(Ti_1-y'Zr_y')O₃   (2)

这里，0.9≤a'≤1.1,0≤x',0≤y'≤0.197,并且(11x'/14)-0.037≤y'≤(11x'/14)+0.04。

4.根据权利要求1的振动波驱动设备，还包括与压电元件接触的振动部件。

5.根据权利要求4的振动波驱动设备，还包括与所述振动部件接触的转子。

6.一种图像拾取设备，至少包括：

根据权利要求1～4中的任一项的振动波驱动设备；和

图像拾取元件单元，

其中，所述振动波驱动设备包含设置在所述图像拾取元件单元的光接收表面侧上的振动体。

7.一种光学装置，包括：

驱动单元，该驱动单元包含根据权利要求1～5中的任一项的振动波驱动设备。

8.一种液体排出设备，包括：

用于转印部件的安装单元；和

根据权利要求1～5中的任一项的振动波驱动设备。

9.一种电子装置，包括：

根据权利要求1～5中的任一项的振动波驱动设备。