[发明专利]基材输送辊

权利要求书

1. 一种基材输送辊，在对基材的表面实施成膜处理的成膜装置中能够绕特定的中心轴旋转地设置来输送上述基材，其特征在于，所述基材输送辊包括：

中央部段，设置在沿着上述中心轴的轴向上的中央部，具有第1外周面；一对端部段，分别位于上述中央部段的轴向的两外侧，分别具有与上述中心轴同轴的圆筒状的第2外周面和第3外周面，这些第2外周面和第3外周面通过在上述基材与该第2外周面和第3外周面接触的状态下旋转来输送该基材，并且具有比该第1外周面的直径大的直径，以阻止该基材与上述第1外周面接触；

中央部升降温机构，使上述中央部段的温度变化；和

两端部升降温机构，使上述各端部段的温度与上述中央部段独立地变化。

2. 如权利要求1所述的基材输送辊，其特征在于，

上述中央部段和上述端部段相互分离。

3. 如权利要求1所述的基材输送辊，其特征在于，

上述中央部段和上述端部段相互同步地旋转。

4. 如权利要求2所述的基材输送辊，其特征在于，

上述中央部段不旋转，上述端部段旋转。

5. 如权利要求2所述的基材输送辊，其特征在于，

还包括在上述中央部段与上述端部段之间产生温度梯度的温度梯度部。