[发明专利]表面被覆部件及其制造方法

权利要求书

1.一种表面被覆部件，包括基体部件以及在其表面上形成的硬质覆膜，

所述硬质覆膜由一层或者多层构成，

所述层中的至少一层为包含硬质颗粒的层，

所述硬质颗粒包括具有交替层叠的第一单元层和第二单元层的多层结构，

所述第一单元层包含第一化合物，所述第一化合物由选自在日本使用的元素周期表中的第四族元素、第五族元素、第六族元素和Al构成的组中的一种或多种元素与选自B、C、N和O构成的组中的一种或多种元素形成，

所述第二单元层包含第二化合物，所述第二化合物由选自在日本使用的元素周期表中的第四族元素、第五族元素、第六族元素和Al构成的组中的一种或多种元素与选自B、C、N和O构成的组中的一种或多种元素形成。

2.根据权利要求1所述的表面被覆部件，其中

所述表面被覆部件包括位于所述第一单元层和所述第二单元层之间的中间层，并且

所述中间层的组成在其厚度方向上由所述第一化合物的组成向所述第二化合物的组成连续变化。

3.根据权利要求1或者2所述的表面被覆部件，其中包含所述硬质颗粒的所述层在所述硬质颗粒的粒界处包括粒界层，所述粒界层包含所述第一化合物或者所述第二化合物。

4.一种制造包括基体部件和硬质覆膜的表面被覆部件的方法，所述硬质覆膜形成在所述基体部件的表面上，并且由一层或者多层构成，所述方法包括：

通过CVD方法形成所述层中的至少一层的CVD步骤，

所述CVD步骤包括：

将混合气体喷射至所述基体部件的表面的喷射步骤，其中所述混合气体包含选自在日本使用的元素周期表中的第四族元素、第五族元素、第六族元素和Al构成的组中的两种或多种元素以及选自B、C、N和O构成的组中的一种或多种元素；以及

在所述喷射步骤后冷却所述基体部件的冷却步骤。

5.根据权利要求4所述的制造表面被覆部件的方法，其中，在所述冷却步骤中以大于或者等于7℃/分钟的速度冷却所述基体部件。