[发明专利]光源装置

说明书

光源装置，其具备有：放电灯，其具有发光管、及与设在发光管的基端部的阴极作电性连接的固定用接口；灯单元，其通过以可安装和拆卸的方式支撑固定用接口，由此以可替换的方式收纳放电灯；及箱形的机壳，其收纳灯单元，固定用接口具有收纳基端部的第1本体部、及形成在第1本体部外周的凸缘部，灯单元具有夹持部，当固定用接口被插入，朝第1旋转方向旋转时，夹持凸缘部，当朝与第1旋转方向相反的第2旋转方向旋转时，解除对凸缘部的夹持，机壳的侧面具有以设在前端附近的旋转轴为中心进行旋转的开合门，当开合门朝外侧旋转时，灯单元被拉出从而露出夹持部。

技术领域

本发明涉及一种具备收纳有放电灯的灯单元的光源装置。

背景技术

从很早以前开始，在光学零件的粘合、涂料或胶粘剂的硬化、半导体生产的晶圆周边曝光等方面所使用的光源装置中，一直采用放电灯作为光源。该种类的放电灯是一种例如在氙灯中使氙(Xe)气发光、在超高压水银灯中使水银发光、在金属卤化物灯中使水银及金属卤化物发光的放电灯，以比发光管的直径要短的电弧，即以较短的电极间距离放电，产生超高亮度的光。

专利文献1中所示的是使用上述放电灯的光源装置的示例。专利文献1所述的光源装置具备有放电管的电极与放电管一体设置的放电灯。替换灯时，若将放电灯插入在光源装置内的灯单元时，放电灯的插入侧前端的阴极被按压在设在灯单元上的连接构件上，阴极与连接构件作电性连接，并且放电灯被定位在灯单元内。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2001-176304号公报

发明内容

发明所要解决的问题：

根据专利文献1所述结构，将放电管的电极与放电管一体设置，采用连接构件按压该放电管的电极进行电性连接，因此不需要进行灯替换时的引线连接作业。但是，在专利文献1所述的结构中，由于灯单元被固定在光源装置内的灯基座上，因此在进行灯替换时，会产生必须要将被锁紧的盖子拆下这样的繁杂操作，从而出现放电灯替换时所发生的停工时间(down time)(非运转时间)依然未被缩短的问题。

本发明鉴于上述情况而完成，其目的在于提供一种可轻松进行灯替换，且可缩短停工时间的光源装置。

用于解决问题的手段:

为达成上述目的，本发明的光源装置，具备有：放电灯，其包括具有前端部、基端部及阴极的发光管、及与设在基端部的阴极作电性连接的固定用接口；灯单元，其通过以可安装和拆卸的方式支撑固定用接口，由此以可替换的方式收纳放电灯；及箱形的机壳，其具有前面、背面及一对侧面，机壳用于收纳灯单元，固定用接口包括具有与发光管通用的轴心，且收纳基端部的圆筒状的第1本体部、及以从第1本体部的外周面突出的方式所形成的凸缘部，灯单元具有夹持部，当固定用接口被插入，以轴心为中心而朝第1旋转方向旋转时，夹持凸缘部，当固定用接口朝与第1旋转方向相反的第2旋转方向旋转时，解除对凸缘部的夹持，一对侧面的任意一方具有以设在前端附近的旋转轴为中心进行旋转，且在机壳的内侧支撑灯单元的开合门，当开合门朝外侧旋转时，灯单元被拉出从而露出夹持部。

根据该结构，仅打开开合门即可在被灯单元支撑的放电灯内进出，而且仅操作灯单元的夹持部(即仅使固定用接口旋转)，便可轻松替换放电灯，因此停工时间大为缩短。

此外，优选地，凸缘部具备有在与轴心正交的方向所形成的基端部侧的端面，夹持部具有规定基准面，当夹持凸缘部时，端面抵接于基准面。根据该结构，放电灯被定位在正确的位置。