[发明专利]线锯的再次开始运转方法

权利要求书

1.一种线锯的再次开始运转方法，该线锯是在多个沟纹辊上卷绕钢线，并一边将该钢线的新线从供给侧供给至回收侧，一边使所述钢线在钢线轴向上作往复行进，向所述钢线供给切断用的浆料，并将工件相对地压下，使该工件压抵并切入进给于作往复行进的所述钢线，而将所述工件切断成晶圆状；该线锯的再次开始运转方法，是在该线锯的运转中，所述钢线断线而在中途暂时中断所述工件的切断之后，再次开始该切断的方法，其特征在于，具有以下步骤：

修复步骤，其在中断所述工件的切断之后再次开始所述工件的切断之前，修复所述断线的钢线；

切断准备步骤，其使所述工件的切断位置上的所述已修复的钢线的直径与所述即将断线之前的钢线的直径一致。

2.根据权利要求1所述的线锯的再次开始运转方法，其特征在于，在所述切断准备步骤中，在所述钢线的断线发生在卷绕在所述沟纹辊上的位置或所述供给侧的位置上的情况下，通过使所述已修复的钢线磨耗，来使其直径与所述即将断线之前的钢线的直径一致。

3.根据权利要求2所述的线锯的再次开始运转方法，其特征在于，在所述切断准备步骤中，将仿真的工件与保持该仿真的工件的保持装置设置在所述线锯上，并以使所述钢线从所述沟纹辊被退绕至回收侧的位置上的所述钢线的直径与所述断线前相同的方式，利用所述已修复的钢线来切断所述仿真的工件，由此来使所述钢线磨耗后，将所述仿真的工件和保持装置去除。

4.根据权利要求3所述的线锯的再次开始运转方法，其特征在于，在所述修复步骤中，检测从所述断线发生时间点的所述钢线的断线处的位置至所述钢线从所述沟纹辊被退绕至回收侧的位置为止的钢线长度；

在所述切断准备步骤中，以使所述钢线的断线处的位置成为所述钢线从所述沟纹辊被退绕至回收侧的位置的方式，对所述钢线定位，然后，供给并使用所述所检测的钢线长度以上的长度的所述钢线的新线，来切断所述仿真的工件。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的线锯的再次开始运转方法，其特征在于，利用测微计或激光位移计来测量所述钢线的直径。