[发明专利]料浆和/或化学共混物供给装置有效
申请号: | 201380070325.0 | 申请日: | 2013-11-13 |
公开(公告)号: | CN104956278B | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | G·A·拜尔斯;B·德瑞克斯凯;B·P·拜尔 | 申请(专利权)人: | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
主分类号: | G05D11/02 | 分类号: | G05D11/02;B01F15/04;B01F3/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 吴亦华;吕小羽 |
地址: | 美国亚*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化学共混物 料浆 供给装置 半导体制造设施 化学机械平面化 分配模块 分析模块 进料模块 共混 制造 | ||
1.一种料浆和/或化学共混物供给装置,所述装置包括共混模块,所述共混模块合并三个或更多个流动的组分流以在管中形成共混料浆和/或化学共混物,其中所述共混模块包括共混模块泵和用于每一组分流的管并在所述组分管的至少三个的每一个中包括至少一个流量控制器以控制所述组分的流率,并且其中所述组分管连接且合并成单个管以在所述共混模块泵上游形成所述共混料浆和/或共混的化学共混物流;所述装置进一步包括:
分配模块,其中至少一部分来自所述共混模块的共混料浆或化学共混物流流至分配模块;所述分配模块包括一个或多个分配罐和一个或多个分配模块泵;
任选的进料模块,所述进料模块包括第一泵和至少一个用以容留生料浆的进料罐,所述第一泵用于将生料浆从料浆供给容器输送至所述进料罐,所述进料模块还包括至少一个循环回路和连接至所述至少一个进料罐的所述至少一个循环回路中的第二泵,所述第二泵用于从所述进料罐将所述生料浆泵送通过所述循环回路并回到所述进料罐,其中所述循环回路还包括当所述共混模块正在共混料浆时将仅一部分生料浆从所述循环回路供应至所述共混模块的管,所述循环回路还包括背压控制器和压力传感器,所述压力传感器测量所述循环回路中的压力,所述压力被用来调节所述背压控制器中的阀门以保持所述生料浆连续地循环通过所有循环回路;和
任选的分析模块,所述分析模块与所述共混模块流体连通,并且其中至少一部分所述共混料浆或化学共混物流从所述共混模块流至所述分析模块并在所述分析模块中被分析,所述分析模块包括一个或多个分析装置,所述分析装置选自在线液体颗粒计数器、粒度分布分析仪、pH传感器、过氧化氢传感器、密度传感器和电导传感器。
2.根据权利要求1所述的装置,其中所述共混模块的所述三个或更多个管中的第一和第二管合并成单个管以形成部分共混料浆或部分共混的化学共混物流并且所述三个或更多个管中的第三管与所述单个管合并以将第三组分流与所述部分共混料浆或部分共混的化学共混物流合并到第二单个管中。
3.根据权利要求1所述的装置,其中所述一个或多个组分管分阶段合并。
4.根据权利要求1所述的装置,其中所述共混模块包括分割式混合器,所述分割式混合器包括至少三个进给管,其用于三个组分流中的每一个,所述进给管各自连接到接收管,中间进给管位于其它两个进给管之间,至少两个分割式管连接到所述接收管的相反端并且在所述至少两个分割式管汇集之处连接了再接合管。
5.根据权利要求4所述的装置,其中所述组分中最不具反应性的组分被引入到所述中间进给管中。
6.根据权利要求1所述的装置,其中所述三个或更多个组分管使三个或更多个组分流流动,所述组分流选自生料浆、水、一种或多种化学组分、一种或多种与水共混的化学组分、部分共混料浆、完全共混料浆、部分共混的化学共混物和完全共混的化学共混物,并且进一步地其中所述至少三个组分管在所述共混模块泵的上游和2英尺内连接并合并成单个管。
7.根据权利要求1所述的装置,其中所述三个或更多个组分管用于三个或更多个组分流,所述组分流选自生料浆、水、一种或多种化学组分、一种或多种与水共混的化学组分、部分共混料浆、完全共混料浆、部分共混的化学共混物和完全共混的化学共混物,并且进一步地其中所述至少三个组分管在所述共混模块泵的上游和1英尺内连接并合并成单个管。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的装置,其中所述共混模块泵选自离心泵、隔膜泵和蠕动泵。
9.根据权利要求8所述的装置,其中所述共混模块泵为离心泵。
10.根据权利要求6或7所述的装置,其中所述共混模块泵的上游是管的第一接合点和所述组分管的第二接合点,其中所述第一接合点更靠近所述泵,在所述第一接合点中,包含一种或多种化学组分和水的第一流与包含生料浆的第二流合并,所述第一流自所述第二接合点流动,其中在所述第二接合点处,第三和第四流合并,其中所述第三流包含水而所述第四流包含一种或多种化学组分以形成所述第一流。
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