[发明专利]接合状态检查方法

权利要求书

1.一种接合状态检查方法，其特征在于，包括：

测定阶段，对在将振动的变幅杆推压至被重叠地载置于砧上的多个板状构件来对上述板状构件进行超声波接合时传递到上述砧的能量进行测定；以及

判定阶段，根据在上述测定阶段中测定出的上述能量，判定上述板状构件的接合状态是否良好。

2.根据权利要求1所述的接合状态检查方法，其特征在于，

上述测定阶段包括：

振动测定阶段，通过振动传感器来测定上述砧的振动振幅；以及

积分阶段，对在上述振动测定阶段中测定上述砧的振动振幅所得到的振动数据进行积分，

其中，在上述判定阶段，根据上述积分阶段中的积分结果，判定上述板状构件的接合状态是否良好。

3.根据权利要求2所述的接合状态检查方法，其特征在于，

上述判定阶段包括比较阶段，在该比较阶段，将上述振动数据的积分值除以积分时间所得到的值与预先设定的阈值进行比较，

在上述积分值除以上述积分时间所得到的值比上述阈值大的情况下，判定为上述板状构件的接合状态良好。

4.根据权利要求2或3所述的接合状态检查方法，其特征在于，

上述测定阶段还包括截取阶段，在该截取阶段，从上述振动数据中截取上述砧处于振动的时间的数据，

在上述积分阶段，对在上述截取阶段中截取出的上述数据进行积分。

5.根据权利要求2～4中的任一项所述的接合状态检查方法，其特征在于，

上述测定阶段还包括抽出阶段，在该抽出阶段，应用根据上述变幅杆的振动频率所确定的频带的带通滤波器，来从上述振动数据抽出上述频带的数据。

6.根据权利要求5所述的接合状态检查方法，其特征在于，

上述带通滤波器的中心频率与上述变幅杆的振动频率一致。