[发明专利]用于ALD处理颗粒物质的方法和设备

权利要求书

1.一种方法，包括：

沿着竖原子层沉积(ALD)筒的中央区域中的上下竖通道安排前体蒸汽流经所述筒；和

在转动时，使要进行ALD处理的颗粒物质在筒中向上运动通过基本从竖通道延伸到筒的侧壁的线程区域和向下沿着竖通道运动以引起颗粒物质在ALD处理过程中循环。

2.根据权利要求1所述的方法，包括：

通过转动和摇动的组合运动使颗粒物质向上运动。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，转动和摇动的组合运动包括由提升、转动和降低组成的连续运动。

4.根据任一前述权利要求所述的方法，其中，转动运动或者转动和摇动运动沿着气体排气线路传递到所述筒。

5.根据任一前述权利要求所述的方法，包括：

使颗粒物质在筒中暴露于时间上间隔开的前体脉冲，以使物质通过顺序自饱和表面反应沉积在颗粒物质的表面上。

6.一种设备，包括：

可转动竖原子层沉积(ALD)筒，其包括由侧壁限定的中空空间；

竖通道，其位于筒的中央区域中、竖向延伸大致贯穿所述筒并能够允许前体蒸汽上下流动经过所述筒；和

线程区域，其位于所述中空空间内并大致从竖通道延伸到所述侧壁，其中

所述设备能够在转动时使要进行ALD处理的颗粒物质向上运动通过线程区域并向下沿着竖通道运动，以引起颗粒物质在ALD处理过程中循环。

7.根据权利要求5所述的设备，其中，所述设备能够通过转动和摇动的组合运动使颗粒物质向上运动。

8.根据权利要求6所述的设备，其中，所述转动和摇动的组合运动包括提升、转动和降低组成的连续运动。

9.根据权利要求5-7中任一项所述的设备，其中，所述设备包括反应室，其容纳所述筒并为所述筒提供前体蒸汽内馈。

10.根据权利要求5-8中任一项所述的设备，其中，所述设备包括连接到所述筒但位于容纳所述筒的反应室外侧的转动器和摇动器。

11.根据权利要求9所述的设备，包括附接在排气线路中的所述转动器和/或所述摇动器。